24小时热门版块排行榜    

查看: 3738  |  回复: 33

minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射,求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层,一个小时没镀上,求教可能的原因?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

坚持
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

辛苦了

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

考虑过“反溅射”吗?
高峰值脉冲溅射会引起朗缪尔壳层极速扩展,脉冲电压消失瞬间,真空室内的电场有瞬态畸变,无论基板是否悬浮,都可能在这个畸变电场作用下,Ar+冲向基板,将处在基板表面,尚处于高能态的刚刚沉积的原子或原子团溅射掉。
判定途径:用示波器仔细查看处于悬浮态基板的电压波形,若出现绝对值很高的负脉冲(如大于200V),则可以认为发生了反溅射。
若确认发生的反溅射。试试这个措施:基板接地,或使用低内阻电源施加不超过-70的偏压。
27楼2013-11-22 21:10:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xaver2010

金虫 (小有名气)

引用回帖:
31楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-18 18:02:26
为什么要抑制柱状晶的出现呢?我的也出现柱状晶了,菜鸟求教,谢谢了...

搞不定啊,你再问问楼主。。。貌似她说解决了啊
32楼2015-03-19 20:38:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

妹子的设备是哪里买的啊?
2楼2013-11-05 20:47:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊?

沈阳的
坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?
4楼2013-11-05 21:04:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 21:04:58
沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?...

沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题,以前镀得都还好,今天第一次用高功率脉冲做,参数比照文献设的,但感觉溅射时靶材亮度不对,还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗?我是刚开始做这个的菜鸟,求指教。。
坚持
5楼2013-11-05 21:16:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖仅楼主可见
6楼2013-11-05 21:27:32
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by pwj525 at 2013-11-05 21:27:32
可能是基体表面没有处理好,导致界面粘结性不好!

跟以前一样处理的,就换了下电源
坚持
7楼2013-11-05 21:29:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 22:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题,以前镀得都还好,今天第一次用高功率脉冲做,参数比照文献设的,但感觉溅射时靶材亮度不对,还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗?我是刚开始做这个的菜鸟, ...

是不是短路了?
你靶材表面和靶材电极附近清理了么?
你有设备的外观照或者内部构造的照片么?
8楼2013-11-05 21:54:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zkchang

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题,以前镀得都还好,今天第一次用高功率脉冲做,参数比照文献设的,但感觉溅射时靶材亮度不对,还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗?我是刚开始做这个的菜鸟, ...

有闪烁会不会是打弧了?
也有可能功率过高导致靶表面击穿?
正常磁控溅射的靶表面功率密度是5-10W/cm2,最大不能超过20W/cm2,要考虑到文献中与自己设备的区别(比如溅射靶尺寸等)。
建议上张图。
9楼2013-11-06 08:09:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 21:54:49
是不是短路了?
你靶材表面和靶材电极附近清理了么?
你有设备的外观照或者内部构造的照片么?...

应该不是,每天都会清理。换靶材时也都用万用表测得,不会短路,电源也没用过流提示。
坚持
10楼2013-11-06 09:09:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 minner__ 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 7/350 2026-11-05 16:08 by My20PsvIExYO
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 7/350 2026-11-05 16:08 by My20PsvIExYO
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-05 15:46 by My20PsvIExYO
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 6/300 2026-11-05 15:46 by My20PsvIExYO
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 10/500 2026-11-05 15:35 by My20PsvIExYO
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 kvewwGtKktqB 2026-11-04 10/500 2026-11-05 15:35 by My20PsvIExYO
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 kvewwGtKktqB 2026-11-04 7/350 2026-11-05 15:35 by My20PsvIExYO
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-05 15:25 by My20PsvIExYO
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-05 15:24 by My20PsvIExYO
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-05 15:24 by My20PsvIExYO
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 13/650 2026-11-05 15:24 by My20PsvIExYO
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 9/450 2026-11-05 15:14 by My20PsvIExYO
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 8/400 2026-11-05 15:13 by My20PsvIExYO
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 15/750 2026-11-05 15:03 by My20PsvIExYO
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 7/350 2026-11-05 11:12 by PYZmcHr5kSaq
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-05 11:10 by PYZmcHr5kSaq
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 8/400 2026-11-05 10:59 by PYZmcHr5kSaq
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-05 10:48 by PYZmcHr5kSaq
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-05 10:39 by PYZmcHr5kSaq
[基金申请] 各位基础老师们,看完中央《从严治党》的决定后,对学术界更加有信心了吧 +5 iaeyuan 2026-11-01 5/250 2026-11-04 14:43 by jinchengzi
信息提示
请填处理意见