应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
41/1返回列表
查看: 3022  |  回复: 33
查看全部回帖 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
坚持
1楼 2013-11-05 15:38:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zkchang

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

有闪烁会不会是打弧了？
也有可能功率过高导致靶表面击穿？
正常磁控溅射的靶表面功率密度是5-10W/cm2，最大不能超过20W/cm2，要考虑到文献中与自己设备的区别（比如溅射靶尺寸等）。
建议上张图。
赞一下 回复此楼
9楼2013-11-06 08:09:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zkchang

木虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 09:29:19
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算？功率/体积，还是功率/表面积？对于高脉冲电源是用平均功率计算吗？谢谢。。。...

靶表面功率密度并非计算，而是经验值。通过与靶表面积乘积即可得到靶的功率数值（看单位就应该能明白）。
另外，国外某品牌电源灭弧时间在3微秒左右。而其它电源普遍相应时间在毫秒量级，与人眼反应时间接近，所以你说能看到闪光（姑且推断为打弧），很有可能是使用的电源灭弧时间较长导致。
赞一下 回复此楼
15楼2013-11-07 08:27:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zkchang

木虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-07 12:21:24
高功率脉冲磁控溅射的一个特点就是峰值功率比平均功率高两个数量级，而从电源的显示屏上也只能看出峰值的电压电流，工程师说具体的平均输出需要用仪器测才知道。今天又试了下，虽然峰值功率较大，但靶表面没有之前 ...

"亮斑"?莫非发生弧光放电?
正常应该是亮度柔和的辉光晕.
赞一下 回复此楼
20楼2013-11-07 13:02:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 minner__ 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭