| 查看: 2499 | 回复: 5 | |||||
wangyinquan铁虫 (小有名气)
|
[求助]
反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
|
||||
| 在反应磁控溅射镀膜过程中，在溅射功率为50w的时候，自偏压为320V，当功率达到150w时，自偏压升高到620V，设备的其他参数基本正常，请问高手这是为什么，谢谢！！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 反应磁控溅射 | 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
279分求调剂 一志愿211
已经有12人回复
-
297求调剂
已经有9人回复
-
085700资源与环境308求调剂
已经有13人回复
-
材料 336 求调剂
已经有4人回复
-
华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂
已经有3人回复
-
280求调剂
已经有8人回复
-
324分 085600材料化工求调剂
已经有4人回复
-
一志愿华中科技大学，080502，354分求调剂
已经有5人回复
-
一志愿武理材料305分求调剂
已经有7人回复
-
271材料工程求调剂
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 【求助】磁控溅射电镀的时候，怎么加强环氧树脂与金的结合力
已经有7人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
已经有5人回复
- 【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响
已经有7人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
wangyinquan
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 406
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 20.3小时
- 虫号: 1260714
- 注册: 2011-04-10
- 性别: GG
- 专业: 代数学
6楼2012-03-26 18:05:06
qiqiqiqi
至尊木虫 (知名作家)
小木虫发型设计师
- 应助: 1053 (博后)
- 贵宾: 0.422
- 金币: 12494.5
- 散金: 3982
- 红花: 56
- 沙发: 56
- 帖子: 7824
- 在线: 432.1小时
- 虫号: 831048
- 注册: 2009-08-20
- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
2楼2012-03-24 20:48:16
读书人1236
铁杆木虫 (知名作家)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 8997.7
- 散金: 276
- 红花: 11
- 沙发: 157
- 帖子: 5821
- 在线: 1531.2小时
- 虫号: 735174
- 注册: 2009-03-30
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
3楼2012-03-24 22:27:33
wangyinquan
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 406
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 20.3小时
- 虫号: 1260714
- 注册: 2011-04-10
- 性别: GG
- 专业: 代数学
4楼2012-03-25 09:39:19
wanyue1111
木虫 (著名写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 2261.3
- 散金: 408
- 红花: 4
- 帖子: 1586
- 在线: 563.3小时
- 虫号: 1152217
- 注册: 2010-11-21
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2012-03-25 13:36:05
