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eagle321银虫 (正式写手)
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求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已有1人参与
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| 请教各位前辈：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？如何避免铬靶中毒，同靶电源的选择有关吗？谢谢 |
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 反应磁控溅射 |
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磁控溅射沉积绝缘膜的可用射频电源减小或者防止出现靶中毒的概率吧。
2楼2012-02-20 20:36:20
robin_xmu
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9楼2014-04-17 11:41:00
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