应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
101/1返回列表
查看: 4710  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

eagle321

银虫 (正式写手)

[求助] 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？ 已有1人参与

请教各位前辈：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？如何避免铬靶中毒，同靶电源的选择有关吗？谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
thinkmore，thinkdifferent
1楼 2012-02-16 22:07:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

祖师爷猛猪

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhyq8767(金币+1): 感谢交流 2012-02-20 20:55:00
eagle321(金币+2): ★有帮助 谢谢 受教了 2012-02-22 11:00:11
磁控溅射沉积绝缘膜的可用射频电源减小或者防止出现靶中毒的概率吧。

解决靶中毒的问题要视情况而定，就选择电源来说，采用中频电源、A2K电源来减少靶中毒的发生吧。

一点愚见，新人求金币，
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-02-20 20:36:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

robin_xmu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
eagle321(金币+2): ★★★很有帮助 感谢您的 建议 2012-02-22 11:00:57
N2流量控制小点就不会靶中毒了，跟电源无关吧。RF沉积慢些。
赞一下(3人) 回复此楼
3楼2012-02-20 22:51:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

祖师爷猛猪

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

毛猴(金币+1): 感谢交流！ 2012-02-22 21:04:07
楼上正解，用RF的话，只有减小进气流量，防止靶面形成化合物膜后，使得离子轰击产生大量二次电子增加空间导通能力，靶电压突然降低，靶电流增大，溅射无法进行下去。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2012-02-22 21:01:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

otonewang

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用射频的效率高些，靶中毒你控制下气体流量别太大就可以了
赞一下 回复此楼
5楼2012-10-09 20:09:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dxf930

金虫 (正式写手)
RF、MF、A2K电源各自的特点是什么？
赞一下 回复此楼
收获的日子早一天也是不行的!等待...追求...
6楼2012-11-13 13:10:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyss1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我觉得做好冷却就行，我用射频做氮化铝300W溅射没啥问题，靶材表面一段时间有氧化的现象，打磨掉就好了。
赞一下 回复此楼
Stayhungry,stayfoolish.
7楼2013-11-13 20:37:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gaowei701

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

建议用RF好些，控制好气体流量靶中毒会很少的，如果可以的话，用中频或脉冲电源会更好点。
赞一下 回复此楼
8楼2013-12-03 14:25:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by hyss1992 at 2013-11-13 20:37:53
我觉得做好冷却就行，我用射频做氮化铝300W溅射没啥问题，靶材表面一段时间有氧化的现象，打磨掉就好了。

虫友，你的氮化铝做多厚？
赞一下 回复此楼
9楼2014-04-17 11:41:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yachong001

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用金属铬靶通N2吗？你有啥电源用啥电源呗，DC电源便宜，RF贵，如果你都有就用RF吧，膜层好些。
赞一下 回复此楼
10楼2019-10-21 11:47:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 eagle321 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 2rKfVQg2jQww 2026-11-06 15/750 2026-11-09 05:37 by l48hFd8Nwae2
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 05:33 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 21:29 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +8 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 23/1150 2026-11-07 06:49 by Equinoxhua
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +10 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 22/1100 2026-11-06 17:18 by 5sJFDKp2kwuI
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:23 by 5sJFDKp2kwuI
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +7 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 14/700 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 10/500 2026-11-06 12:32 by BkA9Bi5cMhkD
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 5/250 2026-11-06 09:01 by 2lRNluKrJpwL
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 10/500 2026-11-06 05:32 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 kvewwGtKktqB 2026-11-04 11/550 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-06 04:47 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 8/400 2026-11-06 02:24 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-06 01:51 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭