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zwy198759

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池 已有12人参与

请问下有没有用磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池的?你们用的什么靶材啊,能不能给我讲讲啊?谢谢了!!
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diamondli99

木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-02 01:53:01
据我所知,一般都是用到Mo靶,CuGa靶,In靶,以及透明导电氧化物的靶材。当然也有人在用三元靶材即CuInGa靶材,甚至四元靶材CuInGaSe靶材。
2楼2010-11-19 08:22:41
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chaoran420

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-02 01:53:15
四元靶材CuInGaSe靶材
这是第二代太阳能用靶材,效果比CuGa,CuInGa靶材强很多!但靶材制作工艺要求很高!我也没找到最理想的
一啸2013
3楼2010-11-29 08:56:02
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zhxfish

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by chaoran420 at 2010-11-29 08:56:02:
四元靶材CuInGaSe靶材
这是第二代太阳能用靶材,效果比CuGa,CuInGa靶材强很多!但靶材制作工艺要求很高!我也没找到最理想的

现在有卖的了,呵呵
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
4楼2011-09-10 09:38:16
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
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5楼2011-12-30 19:50:05
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bqian1

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
四元靶材CuInGaSe靶材
6楼2011-12-31 06:38:03
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chwp305

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
透明导电层我们用的是AZO
????
7楼2012-01-10 10:09:53
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
可采用四元化合物靶溅射,华东师范大学有用这种靶
8楼2012-02-28 10:11:48
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foxs2

木虫 (文坛精英)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本实验室可溅射Mo、ZnO:Al薄膜,需要可联系。
zyy44138172@126.com   15108299816
9楼2012-03-30 21:31:23
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chenguang5895

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在一般量产和研究上采用的是CuGa,In靶。 很多研究单位也采用三元或者四元的,
用三元靶材,film的成分比很难控制,和靶材,sputter条件等有关。
四元的不推荐使用,因为这种太容易碎。我以及碎了2,3个了。
现在还是回到了量产中使用最多的CuGa(Ga:25~30 wt%),In靶材。
其他的用Mo,i-ZnO, AZO(或者GZO, ITO)都可以。
10楼2012-04-04 12:22:15
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