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zwy198759

新虫 (正式写手)

应助: 11 (小学生)
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红花: 9
帖子: 301
在线: 493.7小时
虫号: 1125687
注册: 2010-10-18
性别: GG
专业: 金属功能材料

[交流] 【求助】磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池已有12人参与

请问下有没有用磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池的？你们用的什么靶材啊,能不能给我讲讲啊?谢谢了！！

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1楼 2010-11-17 14:39:48

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chenguang5895

木虫 (著名写手)

应助: 5 (幼儿园)
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注册: 2008-08-01
专业: 光子与光电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

现在一般量产和研究上采用的是CuGa，In靶。很多研究单位也采用三元或者四元的，
用三元靶材，film的成分比很难控制，和靶材，sputter条件等有关。
四元的不推荐使用，因为这种太容易碎。我以及碎了2，3个了。
现在还是回到了量产中使用最多的CuGa（Ga:25~30 wt%)，In靶材。
其他的用Mo，i-ZnO, AZO（或者GZO， ITO)都可以。