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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
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freeren896

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源

请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
金属溅射不是用直流吗，射频不是氧化物才用吗？
是不是用射频镀金属膜比用直流好呀？
谢谢
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1楼2011-03-15 22:03:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
磁性材料用射频容易起辉
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16楼2011-11-14 22:19:08
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普通回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
freeren896(金币+1): 2011-03-16 12:58:25
没有谁规定金属必须用直流吧？倒是绝缘体必须用射频。
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2楼2011-03-15 22:18:27
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211985:mad:

木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
直流容易将小舟烧坏
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3楼2011-03-15 23:53:01
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jjwl_rscn

金虫 (正式写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
金币送我的？？
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5楼2011-03-19 16:19:10
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fxiyue

铁杆木虫 (著名写手)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
想看一下
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6楼2011-03-19 16:28:14
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农家仔

铜虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
射频的溅射效率好像更低一些，在生长薄的膜时容易控制一点点，其它的原因俺就不懂了
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9楼2011-03-21 10:30:04
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songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。
2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工业制金属膜直流较好。
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10楼2011-06-10 15:18:21
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽
12楼2011-06-14 08:50:53
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lukeronger

金虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
学习了
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13楼2011-06-22 17:13:10
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greenhaw

金虫 (初入文坛)
★
freeren896(金币+1):谢谢参与
DC容易产生arc，制备膜层速率相对RF偏快，RF制备金属膜层速率较慢，膜层致密。
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14楼2011-06-25 13:43:34
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sxsynr

铁虫 (小有名气)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
射频：可以实现薄膜应力的控制
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17楼2013-04-12 14:06:35
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
freeren896(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
17楼: Originally posted by sxsynr at 2013-04-12 14:06:35
射频：可以实现薄膜应力的控制

一家之言还是文献里的结论？可不敢这么轻易下结论！
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18楼2013-04-12 14:32:12
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
引用回帖:
16楼: Originally posted by Maxthonhua at 2011-11-14 22:19:08
磁性材料用射频容易起辉

貌似不一定吧！
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19楼2013-04-12 14:32:44
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tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们溅射金属一直射频源，直流坏了
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20楼2013-12-09 17:11:45
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
直流和射频都用过，感觉直流溅射速率先对高一些，绝缘的必须要用射频
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22楼2013-12-09 23:50:38
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paulpaulzj4楼
2011-03-16 00:05   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
mooncakeaa7楼
2011-03-20 07:34   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
yuhongquan78088楼
2011-03-20 08:33   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
parklyn11楼
2011-06-12 14:07   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by songxiao111 at 2011-06-10 15:18:21: 1、因为射频使用的是13.5MHz的射频电源，溅射材料的种类较多，涉及到金属及非金属和各类氧化物。 2、射频溅射的速率一般而言较直流溅射速率低，且有功率匹配，更容易精确控制生长过程，科研制模选择射频较好，工 ...

daijiash15楼
2011-06-26 09:46   回复  
freeren896(金币+1):谢谢参与
peterflyer21楼
2013-12-09 22:56   回复  
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