24小时热门版块排行榜    

查看: 1492  |  回复: 5

wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备氮化铟薄膜

我想要制备氮化铟薄膜,用纯金属铟为靶材,氮气和氩气为反应气体,我现在不知道,是该用直流反应溅射制备好还是用射频反应溅射制备比较好,请教高手,为我解答哪种方法得到薄膜比较好?如果用直流反应溅射的话,直流负高压应该为多少合适呢?多谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

收集的

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

当你站在高处时能让别人看清你,当你跌落低谷时,你能看清所有人
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

老冒

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+4, 3q 2013-11-27 02:28:47
wjy_421: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 09:09:10
对于金属靶,直流和射频都差不多。如果让我选,就选直流,避免射频的辐射。至于高压加多少,那还要和气体流量、溅射速度等因素综合考虑,那就是具体的工艺了,针对你的需要来摸索。我通常是压力维持在0.5pa左右,起辉后能够溅射即可。一家之言仅供参考。
诗意人生跑龙套
2楼2013-11-26 21:13:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wjy_421: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 09:09:18
如果氮气分压高的话,建议射频!反之如果氩气分压高则用直流亦可!其实如楼上所言,这里直流、射频都应该没问题,只不过同等功率下直流溅射速率可能会稍微慢!具体的气压、电压、气体混合比等工艺参数都是不同装置不同设定,没有一个定论该多少的。楼主可以慢慢摸一些工艺,试着逐步改变一些参数,应该是能得到不同氮含量的薄膜,最后选择一个最适合自己的那个氮含量的参数!

话说楼主能否给俺科普一下,氮化铟薄膜可以用来干啥?
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
3楼2013-11-27 07:03:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by leongoall at 2013-11-27 07:03:03
如果氮气分压高的话,建议射频!反之如果氩气分压高则用直流亦可!其实如楼上所言,这里直流、射频都应该没问题,只不过同等功率下直流溅射速率可能会稍微慢!具体的气压、电压、气体混合比等工艺参数都是不同装置不 ...

我学的专业是光学,我主要是研究其光学性质
当你站在高处时能让别人看清你,当你跌落低谷时,你能看清所有人
4楼2013-11-27 09:08:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coatingzhang

捐助贵宾 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2013-11-30 22:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiahong517

铁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

6楼2014-05-27 00:41:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wjy_421 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +9 majunge000 2026-08-10 12/600 2026-08-13 23:20 by iwuli
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +4 majunge000 2026-08-11 6/300 2026-08-13 16:50 by 四季常青藤
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 36/1800 2026-08-12 22:50 by sdfapple719
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见