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石英姿

新虫 (初入文坛)

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[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜，但是薄膜的颜色不一样，直流磁控溅射镀出来的是银白的，射频镀出来的是发黑的（可以排除被氧化的可能）这是为什么呀，跪求高手帮忙

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1楼2012-05-21 10:22:15

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henryfrank

木虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

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华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31

其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧化，也有可能是靶上有其他的材料（之前用这个靶头装过别的靶材），所以换靶时要认真的清理靶罩，建议你还是用直流做这种导电的材料。