应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
141/2返回列表12下一页
查看: 3922  |  回复: 13
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

漫天的飘

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重已有1人参与

开启磁控溅射直流电源时，左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右，调节功率旋钮，可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动，很难引弧。而且操作过程中电压数值很高，约为450以上，持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后，靶材表面刻蚀严重。
（开机时）（无法引弧时）（靶材刻蚀严重）
昨天重新拆开靶材进行了检查和清理，并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。
我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障，请问应当如何维修？

另外，设备上一处接线我不是很明白：

如上图所示，左侧红框内的是控制靶材升降机构的，但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗？

如上图所示，接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2012-03-16 17:07:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫天的飘

新虫 (初入文坛)
我自己顶一下啊，求助啊!
赞一下 回复此楼
2楼2012-03-19 09:57:53
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
没看到图啊？
能不能录了video传上来？
赞一下 回复此楼
3楼2012-03-19 14:38:10
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-03-19 14:38:10:
没看到图啊？
能不能录了video传上来？

不知道咋回事，图片穿不上来，我再试试，先谢谢哈!
赞一下 回复此楼
4楼2012-03-19 21:15:51
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

erty

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-04-12 16:47:36
打开电源，看看里面的电子器件有没有烧毁等问题，还有就是色环电阻这类很细的针脚有没有开焊什么的，不知道这个是不是你直流电源里的。
赞一下 回复此楼
5楼2012-03-20 10:28:01
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by erty at 2012-03-20 10:28:01:
打开电源，看看里面的电子器件有没有烧毁等问题，还有就是色环电阻这类很细的针脚有没有开焊什么的，不知道这个是不是你直流电源里的。

电源打开了，不过没发现很明显的问题，没有电线器件烧坏等现象，现在打算邮寄到厂家检修一下，我们也推测是电源这块出问题了，靶材这块短路啊氧化什么的都没啥问题。但愿是电源问题，不然就不知道咋回事了!
赞一下 回复此楼
6楼2012-03-20 16:31:34
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

erty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 漫天的飘 at 2012-03-20 16:31:34:
电源打开了，不过没发现很明显的问题，没有电线器件烧坏等现象，现在打算邮寄到厂家检修一下，我们也推测是电源这块出问题了，靶材这块短路啊氧化什么的都没啥问题。但愿是电源问题，不然就不知道咋回事了!

也可能是内部的电子器件出问题，湿度或者接触不好，或者一瞬间电流等问题都有可能引起内部的问题，不过这都是可能你最好还是仔细看看线路。
赞一下 回复此楼
7楼2012-03-20 23:51:09
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by erty at 2012-03-20 23:51:09:
也可能是内部的电子器件出问题，湿度或者接触不好，或者一瞬间电流等问题都有可能引起内部的问题，不过这都是可能你最好还是仔细看看线路。

外部线路没发现啥问题，现在把电源那块拆卸了，让专业人士看看电源内部有没有你说的那种阵脚开焊接触不良什么的。谢谢你的帮助!
赞一下 回复此楼
8楼2012-03-21 08:57:44
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aheyingwhg

新虫 (正式写手)
拿来，我给你修，这么简单的东西
赞一下 回复此楼
9楼2012-03-25 20:45:11
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by aheyingwhg at 2012-03-25 20:45:11:
拿来，我给你修，这么简单的东西

呵呵，早说嘛，你免费给我修啊。
赞一下 回复此楼
10楼2012-03-26 10:25:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 漫天的飘 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭