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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重 已有1人参与

开启磁控溅射直流电源时，左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右，调节功率旋钮，可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动，很难引弧。而且操作过程中电压数值很高，约为450以上，持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后，靶材表面刻蚀严重。
（开机时）（无法引弧时）（靶材刻蚀严重）
昨天重新拆开靶材进行了检查和清理，并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。
我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障，请问应当如何维修？

另外，设备上一处接线我不是很明白：

如上图所示，左侧红框内的是控制靶材升降机构的，但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗？

如上图所示，接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。
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1楼 2012-03-16 17:07:01
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
我自己顶一下啊，求助啊!
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2楼2012-03-19 09:57:53
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
没看到图啊？
能不能录了video传上来？
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3楼2012-03-19 14:38:10
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-03-19 14:38:10:
没看到图啊？
能不能录了video传上来？

不知道咋回事，图片穿不上来，我再试试，先谢谢哈!
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4楼2012-03-19 21:15:51
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erty

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-04-12 16:47:36
打开电源，看看里面的电子器件有没有烧毁等问题，还有就是色环电阻这类很细的针脚有没有开焊什么的，不知道这个是不是你直流电源里的。
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5楼2012-03-20 10:28:01
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by erty at 2012-03-20 10:28:01:
打开电源，看看里面的电子器件有没有烧毁等问题，还有就是色环电阻这类很细的针脚有没有开焊什么的，不知道这个是不是你直流电源里的。

电源打开了，不过没发现很明显的问题，没有电线器件烧坏等现象，现在打算邮寄到厂家检修一下，我们也推测是电源这块出问题了，靶材这块短路啊氧化什么的都没啥问题。但愿是电源问题，不然就不知道咋回事了!
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6楼2012-03-20 16:31:34
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erty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 漫天的飘 at 2012-03-20 16:31:34:
电源打开了，不过没发现很明显的问题，没有电线器件烧坏等现象，现在打算邮寄到厂家检修一下，我们也推测是电源这块出问题了，靶材这块短路啊氧化什么的都没啥问题。但愿是电源问题，不然就不知道咋回事了!

也可能是内部的电子器件出问题，湿度或者接触不好，或者一瞬间电流等问题都有可能引起内部的问题，不过这都是可能你最好还是仔细看看线路。
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7楼2012-03-20 23:51:09
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by erty at 2012-03-20 23:51:09:
也可能是内部的电子器件出问题，湿度或者接触不好，或者一瞬间电流等问题都有可能引起内部的问题，不过这都是可能你最好还是仔细看看线路。

外部线路没发现啥问题，现在把电源那块拆卸了，让专业人士看看电源内部有没有你说的那种阵脚开焊接触不良什么的。谢谢你的帮助!
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8楼2012-03-21 08:57:44
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aheyingwhg

新虫 (正式写手)
拿来，我给你修，这么简单的东西
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9楼2012-03-25 20:45:11
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漫天的飘

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by aheyingwhg at 2012-03-25 20:45:11:
拿来，我给你修，这么简单的东西

呵呵，早说嘛，你免费给我修啊。
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10楼2012-03-26 10:25:59
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