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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板）被溅射
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20041696

银虫 (小有名气)

[交流] 【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板）被溅射

如题，我们在射频磁控溅射中，在样品中发现靶材固定架和挡板的成分（Fe,Cr），固定架是钢制品，有没有啥办法可以避免，谢谢好心人！
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1楼 2011-01-11 11:25:17
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★
20041696(金币+1): 2011-01-13 21:21:34
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-02-23 06:11:42
个人认为你应该想办法限制一下等离子区的范围。当然这要视具体的设备而言。
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2楼2011-01-12 08:20:47
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warlover

铁杆木虫 (初入文坛)
★
20041696(金币+1): 2011-01-13 21:23:53
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-02-23 06:12:01
我的磁控溅射通过改变靶材支架可以限制辉光的范围
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3楼2011-01-12 15:22:22
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sailor529

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2011-01-13 09:22:26
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陈勇跃

金虫 (正式写手)
溅射上去也没关系哇！！！
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5楼2011-01-13 14:38:18
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20041696

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by warlover at 2011-01-12 15:22:22:
我的磁控溅射通过改变靶材支架可以限制辉光的范围

我们的靶材是长方形的，不知你是如何改变支架的，能具体指点一下不，跪谢
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6楼2011-01-13 21:22:56
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warlover

铁杆木虫 (初入文坛)
我的靶材是圆形的，直径2英寸左右，增大靶材支架的尺寸使被溅射的靶材面积较小，可以控制等离子体的范围
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7楼2011-01-14 08:32:46
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mbsnow

木虫 (初入文坛)
从技术上来说很难根本解决，可以考虑将这些东西上包上锡箔纸。
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8楼2011-01-14 16:46:36
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wukeyi28

木虫 (小有名气)
赞同8楼的
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9楼2011-01-14 16:48:43
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陈银

木虫 (著名写手)
★
lpszk(金币+1): 谢谢交流 2011-02-23 06:12:47

我们做实验时是用锡箔纸将靶材和挡板包裹的。。
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10楼2011-02-22 22:26:50
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
11楼2011-02-28 22:00:16
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
捡了芝麻，丢了西瓜
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12楼2011-03-01 01:06:59
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tuzikaka

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by mbsnow at 2011-01-14 16:46:36:
从技术上来说很难根本解决，可以考虑将这些东西上包上锡箔纸。

千万别别包锡纸，否则你镀的膜就废了，全污染了，我有亲身经历的
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13楼2011-05-16 11:03:40
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king小草

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by warlover at 2011-01-14 08:32:46
我的靶材是圆形的，直径2英寸左右，增大靶材支架的尺寸使被溅射的靶材面积较小，可以控制等离子体的范围

这种改变支架，是指支架连同背后的磁铁吗？
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14楼2024-11-13 11:07:32
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