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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
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54txtx

银虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题 已有3人参与

本人新手，刚做实验，请教各位大牛

我做磁控溅射，溅射气体是Ar，分别溅射两种靶材A和B，现在想要搞清楚Ar对于A和B的溅射效率分别是多少。

打个不是很恰当的例子来说，当一个Ar原子打到A上时，可以打出m个A原子，而当同样一个Ar原子打到B上时，可以打出n个B原子，m和n应当不同，因为对于不同的材料溅射的效率应该不同

那么有没有什么物理量来表示这种效率差别，网上那里可以搜到具体参数？
很迷茫，急盼各位前辈指点，先行谢过了！
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1楼 2011-03-27 22:20:12
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 欢迎交流 2011-03-28 07:39:10
从原理上来看，溅射主要由电子完成，和阳离子也就是氩气离子无关。
溅射率和电压有关，大致可以按电压*1个电子伏特*(1-热损耗比例)/单个原子蒸发能
单原子蒸发能可以用查到的每摩尔蒸发能换算  1mol eV=96.44kJ
热损耗比例随电压增加而增加，所以数万伏时溅射率会达到极限
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2楼2011-03-28 00:00:16
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erty

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你可以了解下溅射产额的概念哈。
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3楼2011-04-06 22:25:12
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zhangxud04

铜虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 2011-04-13 17:06:13
溅射是用Ar正离子轰击，金属材料的溅射率随便找一个溅射镀膜的书上就有，不同金属周期性变化
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4楼2011-04-13 15:31:03
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54txtx

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by erty at 2011-04-06 22:25:12:
你可以了解下溅射产额的概念哈。

非常感谢啊
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
5楼2011-05-25 19:01:55
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