| 查看: 2322 | 回复: 4 | ||||
54txtx银虫 (初入文坛)
|
[交流]
【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题 已有3人参与
|
|
本人新手，刚做实验，请教各位大牛 我做磁控溅射，溅射气体是Ar，分别溅射两种靶材A和B，现在想要搞清楚Ar对于A和B的溅射效率分别是多少。 打个不是很恰当的例子来说，当一个Ar原子打到A上时，可以打出m个A原子，而当同样一个Ar原子打到B上时，可以打出n个B原子，m和n应当不同，因为对于不同的材料溅射的效率应该不同 那么有没有什么物理量来表示这种效率差别，网上那里可以搜到具体参数？ 很迷茫，急盼各位前辈指点，先行谢过了！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有67人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
ppttcug
木虫 (小有名气)
甲虫
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 4671.7
- 帖子: 69
- 在线: 40.3小时
- 虫号: 760133
- 注册: 2009-04-29
- 性别: GG
- 专业: 纳米 计算物理
2楼2011-03-28 00:00:16
erty
金虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 917.6
- 帖子: 365
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 294983
- 注册: 2006-11-11
- 性别: GG
- 专业: 可再生与替代能源利用中的
3楼2011-04-06 22:25:12
4楼2011-04-13 15:31:03
54txtx
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 541
- 散金: 106
- 帖子: 49
- 在线: 32.1小时
- 虫号: 953352
- 注册: 2010-02-06
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2011-05-25 19:01:55
