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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】求助：磁控溅射问题
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futurelife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助：磁控溅射问题 已有17人参与

今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉，但电流电压加到一定值时就加不上去了，而且同一电流下，电压要比以前大很多，请问问题主要出在哪了？非常感谢
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1楼 2010-05-18 13:29:18
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dxlg

金虫 (小有名气)

ddf
我正在学习射频磁控溅射镀膜，好多问题还在摸索中，有经验的同仁把你们的经验分享一下，多谢！
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ddff
2楼2010-05-18 16:56:15
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):感谢交流，常来啊！ 2010-05-19 08:18:34
电压变大，说明靶材表面由不导电的东西。把电流调低一下，不就电压会自动下来。直流溅射，电压一般都会变化的。不好控制。我是算电流电压乘积的。
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3楼2010-05-18 20:16:17
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futurelife

银虫 (小有名气)
★
csuhcb2000(金币+1):感谢分享经验，支持！ 2010-05-19 12:48:33
进展汇报：我将Ni 靶换成其他靶材，发现工作正常，只要再换成Ni 靶就有问题，所以初步认为是Ni 靶的原因。很有可能是Ni 靶被氧化了，下午再做分析测试去。
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4楼2010-05-19 12:42:16
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idiot891

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
测试好了再来汇报最新进展啊
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5楼2010-05-19 15:14:18
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理查德森

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-19 17:16:12
我也是做磁控溅射的 应该是你的靶材导电性问题 或者靶材与底座接触 短路也可能 常交流啊
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6楼2010-05-19 15:19:32
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chaoran420

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
学习学习！
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一啸2013
7楼2010-05-25 14:14:27
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greatzyf

禁虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 22:11:38
本帖内容被屏蔽
8楼2010-05-25 16:11:07
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futurelife

银虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
化学小工(金币+5):这份总结很好！希望以后多来交流 2010-05-26 22:22:24
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:47:51
呵呵，谢谢大家回复！刚开始的时候，我也初步认定是Ni靶被氧化的事，因为每次试完就发现Ni靶除了被Ar离子溅射的那部分环外，其余地方都成焦黄色，测了一下成分，焦黄部分含氧，电阻也相对较大，可能就是这层氧化物导致荷电效应，于是我们改用射频靶，能起辉，但由于我们射频靶显示功率和反射功率的表盘出现问题，所以就没法验证了，但这氧气从哪来呢？后来一位老师指点，说很可能是Ni靶太厚把磁场屏蔽了，能起辉很可能只是强电场所致，因此那焦黄部分也就可以做个解释，但我们想着不可能啊，以前就是这个厚度，而且还用的好好的，现在为什么就不可以了，无论如何，死马当活马医吧，我们就把Ni靶又分成两块，每块1mm厚，结果这么一试，的确工作正常了。因此暂时可归结为Ni靶太厚，把磁场屏蔽了，但还是有点想不通，为什么以前2mm厚就工作正常，同是Ni靶，换了一个就工作不正常了？也说不定是仪器发飙了~~~~~~~~总之，感谢大家！
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9楼2010-05-26 10:18:23
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LR_dong

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

射频就不会有这问题了
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10楼2010-05-26 10:23:19
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