| 查看: 3402 | 回复: 20 | ||||
futurelife银虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】求助：磁控溅射问题 已有17人参与
|
| 今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉，但电流电压加到一定值时就加不上去了，而且同一电流下，电压要比以前大很多，请问问题主要出在哪了？非常感谢 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 精细陶瓷 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
sxjsn1» 猜你喜欢
国自然评审意见
已经有8人回复
-
国自然面上复盘~欢迎讨论
已经有14人回复
-
系统查不到
已经有11人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有18人回复
-
为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难
已经有12人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有3人回复
-
导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！
已经有8人回复
-
基金不中，共勉
已经有11人回复
-
麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上）
已经有9人回复
-
2026年叶企孙基金
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
2楼2010-05-18 16:56:15
jsszwutao
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6364.6
- 散金: 87
- 帖子: 202
- 在线: 354.3小时
- 虫号: 787367
- 注册: 2009-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2010-05-18 20:16:17
futurelife
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 228.6
- 帖子: 100
- 在线: 66.1小时
- 虫号: 819274
- 注册: 2009-07-31
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2010-05-19 12:42:16
5楼2010-05-19 15:14:18
理查德森
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.5
- 散金: 100
- 红花: 2
- 帖子: 254
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 868078
- 注册: 2009-10-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
6楼2010-05-19 15:19:32
chaoran420
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 598.1
- 红花: 1
- 帖子: 229
- 在线: 39.6小时
- 虫号: 995332
- 注册: 2010-04-13
- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
7楼2010-05-25 14:14:27
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 22:11:38
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 22:11:38
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2010-05-25 16:11:07
futurelife
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 228.6
- 帖子: 100
- 在线: 66.1小时
- 虫号: 819274
- 注册: 2009-07-31
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
★ ★ ★ ★ ★
化学小工(金币+5):这份总结很好！希望以后多来交流 2010-05-26 22:22:24
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:47:51
化学小工(金币+5):这份总结很好！希望以后多来交流 2010-05-26 22:22:24
zhangquan8385: 回帖置顶 2012-01-13 16:47:51
| 呵呵，谢谢大家回复！刚开始的时候，我也初步认定是Ni靶被氧化的事，因为每次试完就发现Ni靶除了被Ar离子溅射的那部分环外，其余地方都成焦黄色，测了一下成分，焦黄部分含氧，电阻也相对较大，可能就是这层氧化物导致荷电效应，于是我们改用射频靶，能起辉，但由于我们射频靶显示功率和反射功率的表盘出现问题，所以就没法验证了，但这氧气从哪来呢？后来一位老师指点，说很可能是Ni靶太厚把磁场屏蔽了，能起辉很可能只是强电场所致，因此那焦黄部分也就可以做个解释，但我们想着不可能啊，以前就是这个厚度，而且还用的好好的，现在为什么就不可以了，无论如何，死马当活马医吧，我们就把Ni靶又分成两块，每块1mm厚，结果这么一试，的确工作正常了。因此暂时可归结为Ni靶太厚，把磁场屏蔽了，但还是有点想不通，为什么以前2mm厚就工作正常，同是Ni靶，换了一个就工作不正常了？也说不定是仪器发飙了~~~~~~~~总之，感谢大家！ |
9楼2010-05-26 10:18:23
10楼2010-05-26 10:23:19
投票:
30