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futurelife银虫 (小有名气)
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【求助】求助：磁控溅射问题 已有17人参与
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| 今天在我用磁控溅射直流溅射Ni靶的时候发现靶材能起辉，但电流电压加到一定值时就加不上去了，而且同一电流下，电压要比以前大很多，请问问题主要出在哪了？非常感谢 |
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chaoran420
金虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体材料
7楼2010-05-25 14:14:27