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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
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lknife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在常温溅射沉积，溅射电压大概在600V~700V，气压在0.3~0.4Pa，衬底没有加偏压
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1楼 2010-12-30 09:42:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

god1999

金虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
溅射电压过大或者工作气压过低吧。
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12楼2013-01-29 10:49:49
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普通回帖

lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题：

    我用中频磁控溅射镀铝和铜，请问为什么镜面效果不好，表面不光洁呢？铝表面呈颗粒状，似乎不致密，但从断面看还是比较致密的，只是呈柱状生长，有些凸起于表面形成了颗粒，我是在 ...

刚才断面没传上去，这一张为载玻片上镀铜，再镀铝的断面
   btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊？论坛不认.JPG


[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]
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2楼2010-12-30 09:44:35
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睁不开眼的狼

金虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
什么气氛？
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3楼2010-12-30 19:48:09
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lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 睁不开眼的狼 at 2010-12-30 19:48:09:
什么气氛？

纯Ar气环境
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4楼2010-12-31 08:53:52
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deler

铁杆木虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
金属膜为什么用射频溅射呢？用直流溅射不就行了？
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的？

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]
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5楼2010-12-31 12:03:17
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lknife

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by deler at 2010-12-31 12:03:17:
金属膜为什么用射频溅射呢？用直流溅射不就行了？
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的？

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]

没有直流溅射靶，只有中频溅射靶，应该也可以溅射沉积金属吧？取截面的时候是把载玻片背面用玻璃刀划破后直接掰断的，没有用液氮冷却后敲碎，是不是不行？是不是最好那样做？
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6楼2011-01-01 00:21:20
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deler

铁杆木虫 (小有名气)
金属掰的时候容易弯折，不过楼主的截面的SEM图好像还不错。
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7楼2011-01-02 00:25:44
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽
8楼2012-02-28 21:41:49
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
个人感觉，如果本底真空度不够的话，有可能影响表面的颗粒平整度，还有就是会不会存在功率上的问题？低压气氛溅射条件下，你们用的功率密度是多少？？
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9楼2012-03-30 02:15:01
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★ ★
lknife(金币+1): 谢谢参与
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-04-30 12:25:15
我觉得楼主用的射频功率可能过大，对于Al和Cu这种导电性很好的金属，首选当然是直流，但是楼主又说没有直流靶。但600-700V的中频自偏压对Al或者Cu个人感觉太高，楼主可尝试适当降低功率或降低溅射压强，减小薄膜生长速度。

祝楼主好运！
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10楼2012-04-29 02:09:36
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
楼住可以去查那个表面形貌，气压和温度的那个图去，看看你需要往哪个方向调整，这个都已经是基本的东西了
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11楼2013-01-16 11:04:30
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god1999

金虫 (小有名气)
你这个是怎么照的SEM求指教
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13楼2013-01-29 10:50:54
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
1573179楼: Originally posted by deler at 2010-12-31 12:03:17
金属膜为什么用射频溅射呢？用直流溅射不就行了？
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的？

问一下怎么用SEM照截面，步骤能说的详细点吗？需要打磨样品一类的吗？
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14楼2013-01-29 10:52:32
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god1999

金虫 (小有名气)
你这个是怎么照的SEM求指教
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15楼2013-01-29 10:52:46
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醋人

至尊木虫 (职业作家)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
如果各参数降低，晶粒细小，镜面效果会好，表面光洁
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16楼2013-01-29 16:13:58
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logo1990

新虫 (初入文坛)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
想问下LZ，镀出的铜和载玻片结合力好吗？我镀上去的铜，用胶带一撕就掉，有没有比较好的过渡层或者表面处理方法，让铜层和基底结合很稳的！
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17楼2013-06-15 10:48:29
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138dong

金虫 (正式写手)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
功率过大，试着降小功率，延长镀膜时间，估计会改善很多
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18楼2013-06-24 17:05:02
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eagle_1109

木虫 (初入文坛)
★
lknife(金币+1): 谢谢参与
请问楼主怎么保证去测SEM的时候还是纯铝膜，毕竟铝膜氧化的那么快
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19楼2014-11-01 20:12:41
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eagle_1109

木虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
请问楼主镀上去的铝膜做SEM的时候怎么保存的，镀上去的铝膜怎么保证不被空气氧化呢？
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20楼2014-11-01 20:45:08
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by leongoall at 2012-04-29 02:09:36
我觉得楼主用的射频功率可能过大，对于Al和Cu这种导电性很好的金属，首选当然是直流，但是楼主又说没有直流靶。但600-700V的中频自偏压对Al或者Cu个人感觉太高，楼主可尝试适当降低功率或降低溅射压强，减小薄膜生长 ...

楼主的气压在0.3~0.4Pa,溅射的压强已经很低了吧，我一般溅射在0.3到0.5Pa，还应该降低溅射压强？请问您溅射的压强有多大，压强多大程度上影响薄膜的厚度与形貌呢
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21楼2015-03-26 10:15:42
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
溅射偏压太大了吧，你为什么会把偏压设置的这么大呢？文献上的？
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22楼2015-03-26 10:22:41
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风中竹流

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
20楼: Originally posted by eagle_1109 at 2014-11-01 20:45:08
请问楼主镀上去的铝膜做SEM的时候怎么保存的，镀上去的铝膜怎么保证不被空气氧化呢？

应该都是氧化了的吧
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23楼2016-03-28 08:57:44
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sabbzanber

新虫 (初入文坛)
电流用的多少？
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24楼2019-09-20 08:12:17
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