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lknife

银虫 (小有名气)


[交流] 【求助】请教磁控溅射金属膜问题

请教磁控溅射金属膜问题:

    我用中频磁控溅射镀铝和铜,请问为什么镜面效果不好,表面不光洁呢?铝表面呈颗粒状,似乎不致密,但从断面看还是比较致密的,只是呈柱状生长,有些凸起于表面形成了颗粒,我是在常温溅射沉积,溅射电压大概在600V~700V,气压在0.3~0.4Pa,衬底没有加偏压
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god1999

金虫 (小有名气)



lknife(金币+1): 谢谢参与
溅射电压过大或者工作气压过低吧。
12楼2013-01-29 10:49:49
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普通回帖

lknife

银虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by lknife at 2010-12-30 09:42:50:
请教磁控溅射金属膜问题:

    我用中频磁控溅射镀铝和铜,请问为什么镜面效果不好,表面不光洁呢?铝表面呈颗粒状,似乎不致密,但从断面看还是比较致密的,只是呈柱状生长,有些凸起于表面形成了颗粒,我是在 ...

刚才断面没传上去,这一张为载玻片上镀铜,再镀铝的断面
   btw:原来图片格式中.jpg和.JPG是不一样的啊?论坛不认.JPG


[ Last edited by lknife on 2010-12-30 at 09:49 ]
2楼2010-12-30 09:44:35
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睁不开眼的狼

金虫 (小有名气)



lknife(金币+1):谢谢参与
什么气氛?
3楼2010-12-30 19:48:09
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lknife

银虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by 睁不开眼的狼 at 2010-12-30 19:48:09:
什么气氛?

纯Ar气环境
4楼2010-12-31 08:53:52
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deler

铁杆木虫 (小有名气)



lknife(金币+1):谢谢参与
金属膜为什么用射频溅射呢?用直流溅射不就行了?
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的?

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]
5楼2010-12-31 12:03:17
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lknife

银虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by deler at 2010-12-31 12:03:17:
金属膜为什么用射频溅射呢?用直流溅射不就行了?
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的?

[ Last edited by deler on 2010-12-31 at 12:06 ]

没有直流溅射靶,只有中频溅射靶,应该也可以溅射沉积金属吧?取截面的时候是把载玻片背面用玻璃刀划破后直接掰断的,没有用液氮冷却后敲碎,是不是不行?是不是最好那样做?
6楼2011-01-01 00:21:20
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deler

铁杆木虫 (小有名气)


金属掰的时候容易弯折,不过楼主的截面的SEM图好像还不错。
7楼2011-01-02 00:25:44
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)


lknife(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽

8楼2012-02-28 21:41:49
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)



lknife(金币+1): 谢谢参与
个人感觉,如果本底真空度不够的话,有可能影响表面的颗粒平整度,还有就是会不会存在功率上的问题?低压气氛溅射条件下,你们用的功率密度是多少??
9楼2012-03-30 02:15:01
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★ ★
lknife(金币+1): 谢谢参与
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-04-30 12:25:15
我觉得楼主用的射频功率可能过大,对于Al和Cu这种导电性很好的金属,首选当然是直流,但是楼主又说没有直流靶。但600-700V的中频自偏压对Al或者Cu个人感觉太高,楼主可尝试适当降低功率或降低溅射压强,减小薄膜生长速度。

祝楼主好运!
10楼2012-04-29 02:09:36
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dearhanzi

金虫 (小有名气)



lknife(金币+1): 谢谢参与
楼住可以去查那个表面形貌,气压和温度的那个图去,看看你需要往哪个方向调整,这个都已经是基本的东西了
11楼2013-01-16 11:04:30
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god1999

金虫 (小有名气)


你这个是怎么照的SEM求指教
13楼2013-01-29 10:50:54
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god1999

金虫 (小有名气)


引用回帖:
1573179楼: Originally posted by deler at 2010-12-31 12:03:17
金属膜为什么用射频溅射呢?用直流溅射不就行了?
楼主取截面使用液氮冷却后敲碎的?

问一下怎么用SEM照截面,步骤能说的详细点吗?需要打磨样品一类的吗?
14楼2013-01-29 10:52:32
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god1999

金虫 (小有名气)


你这个是怎么照的SEM求指教
15楼2013-01-29 10:52:46
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醋人

至尊木虫 (职业作家)



lknife(金币+1): 谢谢参与
如果各参数降低,晶粒细小,镜面效果会好,表面光洁
16楼2013-01-29 16:13:58
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logo1990

新虫 (初入文坛)



lknife(金币+1): 谢谢参与
想问下LZ,镀出的铜和载玻片结合力好吗?我镀上去的铜,用胶带一撕就掉,有没有比较好的过渡层或者表面处理方法,让铜层和基底结合很稳的!
17楼2013-06-15 10:48:29
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138dong

金虫 (正式写手)



lknife(金币+1): 谢谢参与
功率过大,试着降小功率,延长镀膜时间,估计会改善很多
18楼2013-06-24 17:05:02
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eagle_1109

木虫 (初入文坛)



lknife(金币+1): 谢谢参与
请问楼主怎么保证去测SEM的时候还是纯铝膜,毕竟铝膜氧化的那么快
19楼2014-11-01 20:12:41
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eagle_1109

木虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
请问楼主镀上去的铝膜做SEM的时候怎么保存的,镀上去的铝膜怎么保证不被空气氧化呢?
20楼2014-11-01 20:45:08
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xsz2013

铜虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by leongoall at 2012-04-29 02:09:36
我觉得楼主用的射频功率可能过大,对于Al和Cu这种导电性很好的金属,首选当然是直流,但是楼主又说没有直流靶。但600-700V的中频自偏压对Al或者Cu个人感觉太高,楼主可尝试适当降低功率或降低溅射压强,减小薄膜生长 ...

楼主的气压在0.3~0.4Pa,溅射的压强已经很低了吧,我一般溅射在0.3到0.5Pa,还应该降低溅射压强?请问您溅射的压强有多大,压强多大程度上影响薄膜的厚度与形貌呢
21楼2015-03-26 10:15:42
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xsz2013

铜虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
溅射偏压太大了吧,你为什么会把偏压设置的这么大呢?文献上的?
22楼2015-03-26 10:22:41
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风中竹流

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
20楼: Originally posted by eagle_1109 at 2014-11-01 20:45:08
请问楼主镀上去的铝膜做SEM的时候怎么保存的,镀上去的铝膜怎么保证不被空气氧化呢?

应该都是氧化了的吧
23楼2016-03-28 08:57:44
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sabbzanber

新虫 (初入文坛)


电流用的多少?
24楼2019-09-20 08:12:17
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