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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
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jeffwell

铜虫 (小有名气)

[求助] 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？

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1楼 2011-10-11 13:48:10
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-10-18 12:12:40
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离
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2楼2011-10-17 16:51:57
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sea88sky at 2011-10-17 16:51:57:
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离

氩气是白色的？不是紫色的吗？我做的时候发出白色的辉光，都是被氧化的啊。
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3楼2011-10-17 20:45:08
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

有空到车间看看。我记不请了。
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jeffwell
4楼2011-10-18 10:12:01
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by sea88sky at 2011-10-18 10:12:01:
有空到车间看看。我记不请了。

嗯 好的 谢谢您了！感谢对我的帮助！
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5楼2011-10-18 12:12:04
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confirage

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
毛猴(金币+1): 谢谢交流！ 2011-12-04 17:10:43
跟用的气体有关，但是也跟你的靶材金属有关
用氩气比较多
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jeffwell
标准流水生产线下的非标准产品
6楼2011-10-18 12:19:33
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by confirage at 2011-10-18 12:19:33:
跟用的气体有关，但是也跟你的靶材金属有关
用氩气比较多

好的，谢谢您了，最近我做直流磁控溅射的实验，靶材是钛，通的是氩气，功率高之后基本都是发白的那种淡蓝色，功率低了又是紫色，所以我就觉得很奇怪，想请教大家。
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7楼2011-10-18 12:46:38
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confirage

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 12:46:38:
好的，谢谢您了，最近我做直流磁控溅射的实验，靶材是钛，通的是氩气，功率高之后基本都是发白的那种淡蓝色，功率低了又是紫色，所以我就觉得很奇怪，想请教大家。

巧了，我也是溅射钛，不知道你的氩气分压和功率是多少
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标准流水生产线下的非标准产品
8楼2011-10-18 18:16:33
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by confirage at 2011-10-18 18:16:33:
巧了，我也是溅射钛，不知道你的氩气分压和功率是多少

我的氩气分压大概是从0.1pa到1.5pa不等 功率也是从20w到250w吧。正好可以向您请教一下。还望多多指教。
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9楼2011-10-18 21:07:16
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zhou5950

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

兄弟我研二、开始做TC4表面镀膜，加个好友把，以后大家相互交流。

Q :595099330
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10楼2011-11-28 18:36:41
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