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reagan251

新虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

7楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 12:46:38:
好的，谢谢您了，最近我做直流磁控溅射的实验，靶材是钛，通的是氩气，功率高之后基本都是发白的那种淡蓝色，功率低了又是紫色，所以我就觉得很奇怪，想请教大家。

这个颜色是很正常的颜色啊！功率越大越发白色！

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11楼2011-12-01 13:55:42

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confirage

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★
zhyq8767(金币+1): 感谢交流！ 2011-12-07 22:55:54
zhyq8767: 回帖置顶 2011-12-07 22:55:56

引用回帖:

9楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 21:07:16:
我的氩气分压大概是从0.1pa到1.5pa不等功率也是从20w到250w吧。正好可以向您请教一下。还望多多指教。

不知道你的试验做得怎么样了？
我现在可以回答你的一些问题了：
溅射钛的过程，一定气压下，功率越高，其溅射的气氛越白，或者说是有点淡蓝色，功率低则显紫色或者说是红色；即使是氩气达到高纯氩的级别，都是这样的。但是，如果真空腔体里面有杂质的话，溅射时候的颜色就是那种紫色或者说是红色的那种。功率一定，气压越大的话，好像没有多大的变化；

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标准流水生产线下的非标准产品

12楼2011-12-07 22:32:47

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zhuzhuyaya

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气体离化颜色还与离化率有关系，我RF离化氩气是红色，直接离化为蓝色。

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13楼2012-03-17 15:47:29

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reagan251

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磁控溅射不同金属在不同工作气体下的电离颜色是不同的。氩气为工作气体，溅射钛低气压是蓝紫色，高气压是蓝色偏白。我一般用0.5pa，150w，蓝色；溅射铝就是紫红色了，高压也会亮一些，一般1.5pa，120w。铁，铌，钽之类的也做过，差不多的颜色！具体的忘了。。。

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jeffwell

14楼2012-04-05 10:01:53

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jeffwell

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引用回帖:

4510167楼: Originally posted by reagan251 at 2012-04-05 10:01:53:
磁控溅射不同金属在不同工作气体下的电离颜色是不同的。氩气为工作气体，溅射钛低气压是蓝紫色，高气压是蓝色偏白。我一般用0.5pa，150w，蓝色；溅射铝就是紫红色了，高压也会亮一些，一般1.5pa，120w。铁，铌，钽 ...

谢谢您了！

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15楼2012-04-08 16:20:52

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