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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
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reagan251

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 12:46:38:
好的，谢谢您了，最近我做直流磁控溅射的实验，靶材是钛，通的是氩气，功率高之后基本都是发白的那种淡蓝色，功率低了又是紫色，所以我就觉得很奇怪，想请教大家。

这个颜色是很正常的颜色啊！功率越大越发白色！
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11楼2011-12-01 13:55:42
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confirage

木虫 (正式写手)
★
zhyq8767(金币+1): 感谢交流！ 2011-12-07 22:55:54
zhyq8767: 回帖置顶 2011-12-07 22:55:56
引用回帖:
9楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 21:07:16:
我的氩气分压大概是从0.1pa到1.5pa不等 功率也是从20w到250w吧。正好可以向您请教一下。还望多多指教。

不知道你的试验做得怎么样了？
我现在可以回答你的一些问题了：
溅射钛的过程，一定气压下，功率越高，其溅射的气氛越白，或者说是有点淡蓝色，功率低则显紫色或者说是红色；即使是氩气达到高纯氩的级别，都是这样的。但是，如果真空腔体里面有杂质的话，溅射时候的颜色就是那种紫色或者说是红色的那种。功率一定，气压越大的话，好像没有多大的变化；
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标准流水生产线下的非标准产品
12楼2011-12-07 22:32:47
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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

科研屌丝
气体离化颜色还与离化率有关系，我RF离化氩气是红色，直接离化为蓝色。
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13楼2012-03-17 15:47:29
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reagan251

新虫 (小有名气)
磁控溅射不同金属在不同工作气体下的电离颜色是不同的。氩气为工作气体，溅射钛低气压是蓝紫色，高气压是蓝色偏白。我一般用0.5pa，150w，蓝色；溅射铝就是紫红色了，高压也会亮一些，一般1.5pa，120w。铁，铌，钽之类的也做过，差不多的颜色！具体的忘了。。。
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jeffwell
14楼2012-04-05 10:01:53
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
4510167楼: Originally posted by reagan251 at 2012-04-05 10:01:53:
磁控溅射不同金属在不同工作气体下的电离颜色是不同的。氩气为工作气体，溅射钛低气压是蓝紫色，高气压是蓝色偏白。我一般用0.5pa，150w，蓝色；溅射铝就是紫红色了，高压也会亮一些，一般1.5pa，120w。铁，铌，钽 ...

谢谢您了！
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15楼2012-04-08 16:20:52
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TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)
我看到的貌似，氩气是偏蓝绿吧，氮气偏棕红色
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生命不息...
16楼2012-04-11 20:29:32
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nel

至尊木虫 (著名写手)
应该是跟靶材、基材有关系了
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17楼2012-06-01 16:24:55
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deariori

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4515553楼: Originally posted by jeffwell at 2012-04-08 16:20:52
谢谢您了！...

请问用的是直流还是中频？
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18楼2012-08-15 08:20:57
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sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
送鲜花一朵
引用回帖:
2394339楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-11 13:48:10
RT~

您好，请教一下，你们磁控溅射结束后，开腔前腔内充的是空气还是氮气？
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夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
19楼2012-08-19 16:47:18
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4661239楼: Originally posted by sxjsn1 at 2012-08-19 16:47:18
您好，请教一下，你们磁控溅射结束后，开腔前腔内充的是空气还是氮气？...

我们的是空气。
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sxjsn1
20楼2012-08-21 21:09:31
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