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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
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楼1970-01-01 08:00:00
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
4510167楼: Originally posted by reagan251 at 2012-04-05 10:01:53:
磁控溅射不同金属在不同工作气体下的电离颜色是不同的。氩气为工作气体，溅射钛低气压是蓝紫色，高气压是蓝色偏白。我一般用0.5pa，150w，蓝色；溅射铝就是紫红色了，高压也会亮一些，一般1.5pa，120w。铁，铌，钽 ...

谢谢您了！
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15楼2012-04-08 16:20:52
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-10-18 12:12:40
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离
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2楼2011-10-17 16:51:57
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sea88sky at 2011-10-17 16:51:57:
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离

氩气是白色的？不是紫色的吗？我做的时候发出白色的辉光，都是被氧化的啊。
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3楼2011-10-17 20:45:08
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

有空到车间看看。我记不请了。
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jeffwell
4楼2011-10-18 10:12:01
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