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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
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楼1970-01-01 08:00:00
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by confirage at 2011-10-18 18:16:33:
巧了，我也是溅射钛，不知道你的氩气分压和功率是多少

我的氩气分压大概是从0.1pa到1.5pa不等 功率也是从20w到250w吧。正好可以向您请教一下。还望多多指教。
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9楼2011-10-18 21:07:16
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-10-18 12:12:40
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离
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2楼2011-10-17 16:51:57
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sea88sky at 2011-10-17 16:51:57:
氩气是白色，氧气不知道，氮气红色，铝靶电离

氩气是白色的？不是紫色的吗？我做的时候发出白色的辉光，都是被氧化的啊。
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3楼2011-10-17 20:45:08
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

有空到车间看看。我记不请了。
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jeffwell
4楼2011-10-18 10:12:01
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查看全部 23 个回答
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