应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
181/2返回列表12下一页
查看: 10094  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

gl_zju

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？

电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？两者镀膜质量有差异吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

SPR表面等离子体共振 镀膜

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
纳米材料（一维硅纳米材料）交流学习
1楼 2011-07-23 21:16:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

pengmingfa0725

木虫 (小有名气)
gl_zju: 回帖置顶 2012-04-05 08:26:18
E-beam和Sputter的差别如下：
1.两者原理不同，如2楼所说的
2.膜的粘附性及结合的效果也不同，E-beam镀膜的粘附性教差，但是膜的均匀性好；Sputter的镀膜溅射能量大，和基底的粘附性也好，但是膜会有颗粒也就是均匀性稍差。
3.E-Beam通常配备晶振片，对于已经校准的材料，10nm以下控制效果好，相反Sputter溅射出来的膜会有颗粒，10nm的厚度很难达到精准可控。
4.实用的材料不同，磁控溅射有射频电源，可以做绝缘材料，也可以做金属；但是E-beam只能蒸镀金属。
赞一下(7人) 回复此楼
12楼2012-04-04 16:23:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

gl_zju(金币+3): 2011-07-24 23:53:42
我一直用这两种机器镀膜，也曾经思考这两种机器到底有什么不同，其实吧它们的适用范围不一样，有的材料不能用电子书蒸发，比如说CoSiB，镀出来成分偏析很大。对于同一种都能镀的材料，我觉得电子束蒸发要好一些，薄膜缺陷较少，磁控溅射溅射出来的粒子带电荷比较多，电子束蒸发要好一些。大家有什么想法可以讨论啊
赞一下(1人) 回复此楼
潜心科研
2楼2011-07-24 01:16:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
引用回帖:
Originally posted by hanxiao242 at 2011-07-25 09:17:32:
我也想知道呢！还有就是基底在两者腔体中能达到多少度啊？哪个温度低一些啊？我的用磁控的，基底好像都变性了！

如果想要保持基底低温，可以选用水冷台，甚至液氮冷却样品台。
赞一下(1人) 回复此楼
江湖背影
8楼2011-07-25 13:47:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangll457

禁虫 (初入文坛)
gl_zju: 回帖置顶 2012-02-07 11:04:43
本帖内容被屏蔽
11楼2012-02-06 14:59:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

wwangwanhu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

gl_zju(金币+2): 2011-07-24 23:53:46
说明书上说磁控溅射可以镀非金属材料。
但现在还没有使用过非金属材料
赞一下 回复此楼
3楼2011-07-24 16:15:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sensing5668

木虫 (小有名气)
MS做出来的薄膜一般致密性更好，与基片结合也更紧密些；EB适用材料的范围较广
赞一下 回复此楼
4楼2011-07-25 09:01:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanxiao242

银虫 (正式写手)
我也想知道呢！还有就是基底在两者腔体中能达到多少度啊？哪个温度低一些啊？我的用磁控的，基底好像都变性了！
赞一下 回复此楼
5楼2011-07-25 09:17:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by wwangwanhu at 2011-07-24 16:15:14:
说明书上说磁控溅射可以镀非金属材料。
但现在还没有使用过非金属材料

磁控溅射可以镀非金属材料的，比如氧化物的，我镀过氧化铜还有半导体的硼只不过需要的功率比较大，而且时间比较长
赞一下 回复此楼
6楼2011-07-25 09:30:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by hanxiao242 at 2011-07-25 09:17:32:
我也想知道呢！还有就是基底在两者腔体中能达到多少度啊？哪个温度低一些啊？我的用磁控的，基底好像都变性了！

个人感觉磁控溅射的温度是最低的把
赞一下 回复此楼
7楼2011-07-25 09:31:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yoyojn

木虫 (著名写手)
据说电子束比磁控溅射对衬底的顺上损伤小，个人没比较过。
赞一下 回复此楼
9楼2011-07-26 08:57:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

star20080

木虫 (小有名气)
其实你最好是问具体一点，要做什么材料，以及希望达到什么效果！
两种方法肯定是各有优点的。
你说得具体，大家才好给合理的建议嘛。
赞一下 回复此楼
10楼2011-08-01 11:48:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 gl_zju 的主题更新
181/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 326求调剂 +3 上岸的小葡 2026-03-15 4/200 2026-03-15 18:50 by 无际的草原
[考研] 311求调剂 +3 26研0 2026-03-15 3/150 2026-03-15 09:12 by JourneyLucky
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工296分求调剂 +16 稻妻小编 2026-03-09 18/900 2026-03-14 02:00 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +6 yfihxh 2026-03-09 6/300 2026-03-14 01:18 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 材料工程专硕，一志愿中国矿业大学，总分314，求调剂 +5 无懈可击的巨人 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:37 by JourneyLucky
[考研] 271求调剂 +10 生如夏花… 2026-03-11 10/500 2026-03-14 00:35 by 卖报员小雨
[考研] 318求调剂 +3 李新光 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:21 by JourneyLucky
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂！ +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 工科0856专硕化学工程269能调剂吗 +10 我想读研11 2026-03-10 10/500 2026-03-13 10:14 by Yuyi.
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
[考研] 0856材料与化工353分求调剂 +11 NIFFFfff 2026-03-09 11/550 2026-03-10 18:36 by suyuanhai
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭