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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
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浅夏8838

金虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体

如题，请教磁控溅射镀膜时除了氩气和氮气还可以通入什么气体溅射或辅助溅射？？？？？非常感谢~~~~
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1楼 2011-12-23 21:52:51
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2011210017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ljason(金币+1): 鼓励应助交流。欢迎常来工艺技术版 2011-12-24 22:31:14
浅夏8838(金币+2): ★有帮助 2012-02-12 08:33:57
也可以通入氧气作为反应气体。通入的辅助气体只要稀有气体就行，通常是通氩气作为辅助气体。通入的反应气体和你想要制备的膜有关。
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哈哈哈
2楼2011-12-24 09:05:23
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by 2011210017 at 2011-12-24 09:05:23:
也可以通入氧气作为反应气体。通入的辅助气体只要稀有气体就行，通常是通氩气作为辅助气体。通入的反应气体和你想要制备的膜有关。

谢谢，我想找些特别的气体，不是常用的那种
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3楼2011-12-24 10:01:45
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wlszgl

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ljason(金币+2): 鼓励应助交流，欢迎常来工艺技术版 2011-12-24 22:31:31
浅夏8838(金币+2): ★有帮助 2012-02-12 08:34:10
如果气体不参与反应，只能是惰性气体，氮气也不行，惰性气体常用就是氩气，还有就是氦气、氪气等。如果希望气体参与反应，就很多了，要看你需要什么源，一般含有你需要元素的气氛就可以，但要注意不能引入其他杂质，一般与氢配的气体可以用
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4楼2011-12-24 12:30:58
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shuixiang515

金虫 (正式写手)
同意楼主的观点！
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5楼2011-12-24 13:36:26
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yaokeguang

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mjlyxm(金币+1): 感谢您的热心应助，欢迎常来工艺技术版~~O(∩_∩)O~ 2012-02-08 10:53:20
mjlyxm(金币+1): 感谢交流~~O(∩_∩)O~ 2012-02-08 10:54:39
浅夏8838(金币+1): ★有帮助 2012-02-12 08:34:18
气体可以有很多，反应气体：甲烷，乙炔，氧气，氮气，氯化氟等等，工作气体：惰性气体都可以
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6楼2011-12-24 22:19:05
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by yaokeguang at 2011-12-24 22:19:05:
气体可以有很多，反应气体：甲烷，乙炔，氧气，氮气，氯化氟等等，工作气体：惰性气体都可以

请问下像乙炔，氯化氟这种有毒有腐蚀性的气体也可以么？
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7楼2011-12-25 08:56:59
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yaokeguang

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

浅夏8838(金币+5): ★★★很有帮助 2011-12-26 19:31:56
可以的啊，我们这行有不少人用它们
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8楼2011-12-26 14:56:58
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2011210017

金虫 (小有名气)
通入反应气体是为了与靶溅射出来的原子反应，生成你所需要制备的样品，并不是随便乱添加，这与你制备的要求有关。
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哈哈哈
9楼2011-12-26 18:04:17
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by yaokeguang at 2011-12-26 14:56:58:
可以的啊，我们这行有不少人用它们

那那样的气体不会腐蚀气体管道么？
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10楼2011-12-26 19:31:34
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