应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
51/1返回列表
查看: 4514  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

浅夏8838

金虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体

如题，请教磁控溅射镀膜时除了氩气和氮气还可以通入什么气体溅射或辅助溅射？？？？？非常感谢~~~~
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

Target and film

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-12-23 21:52:51
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yaokeguang

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mjlyxm(金币+1): 感谢您的热心应助，欢迎常来工艺技术版~~O(∩_∩)O~ 2012-02-08 10:53:20
mjlyxm(金币+1): 感谢交流~~O(∩_∩)O~ 2012-02-08 10:54:39
浅夏8838(金币+1): ★有帮助 2012-02-12 08:34:18
气体可以有很多，反应气体：甲烷，乙炔，氧气，氮气，氯化氟等等，工作气体：惰性气体都可以
赞一下(2人) 回复此楼
6楼2011-12-24 22:19:05
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

2011210017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ljason(金币+1): 鼓励应助交流。欢迎常来工艺技术版 2011-12-24 22:31:14
浅夏8838(金币+2): ★有帮助 2012-02-12 08:33:57
也可以通入氧气作为反应气体。通入的辅助气体只要稀有气体就行，通常是通氩气作为辅助气体。通入的反应气体和你想要制备的膜有关。
赞一下(1人) 回复此楼
哈哈哈
2楼2011-12-24 09:05:23
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by 2011210017 at 2011-12-24 09:05:23:
也可以通入氧气作为反应气体。通入的辅助气体只要稀有气体就行，通常是通氩气作为辅助气体。通入的反应气体和你想要制备的膜有关。

谢谢，我想找些特别的气体，不是常用的那种
赞一下 回复此楼
3楼2011-12-24 10:01:45
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wlszgl

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ljason(金币+2): 鼓励应助交流，欢迎常来工艺技术版 2011-12-24 22:31:31
浅夏8838(金币+2): ★有帮助 2012-02-12 08:34:10
如果气体不参与反应，只能是惰性气体，氮气也不行，惰性气体常用就是氩气，还有就是氦气、氪气等。如果希望气体参与反应，就很多了，要看你需要什么源，一般含有你需要元素的气氛就可以，但要注意不能引入其他杂质，一般与氢配的气体可以用
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-12-24 12:30:58
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 7/350 2026-08-29 17:31 by 4FFAWE8HcgUD
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-29 17:30 by 4FFAWE8HcgUD
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 10/500 2026-08-29 16:49 by zICmwzsBXjbN
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +5 德尚中行 2026-08-27 5/250 2026-08-29 16:16 by manplx
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 4/200 2026-08-29 14:13 by jCd0dEvKHShX
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +5 gdd2018 2026-08-28 10/500 2026-08-29 14:10 by Jacob678
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 4/200 2026-08-29 14:02 by jCd0dEvKHShX
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 5/250 2026-08-29 11:49 by jCd0dEvKHShX
[找工作] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-29 11:29 by jCd0dEvKHShX
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 我不理解！ +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 国合现在查不到了吗？ +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭