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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 磁控溅射射频功率源的问题
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
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1楼 2010-12-02 19:05:27
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zhang_ki

铜虫 (初入文坛)
xunmengyuan(金币+1, 博学EPI+1): 2010-12-09 08:53:30
难道是短路了？
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2楼2010-12-06 16:12:44
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)
xunmengyuan(金币+1): 2010-12-09 08:53:35
射频功率源，你那个是直流电源吧，射频的只有偏压和功率啊，直流电源有你说的那个！
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3楼2010-12-06 17:08:01
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zhongaihua

新虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by xunmengyuan at 2010-12-02 19:05:27:
我们磁控溅射上的射频功率源最近坏了，加功率的时候电流很大而电压很小，以为是电子管坏了，换了新的电子管还是不行，而且电子管很烫手，请教高手指点

是不是靶材跟上面的罩子距离近了？气体很容易就被击穿了，所以有电流没电压？
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4楼2010-12-08 18:44:58
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460104898

铜虫 (正式写手)
到底是什么问题呢？麻烦LZ说下？
真的很想知道..
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5楼2011-04-14 15:46:23
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