磁控溅射射频功率源的问题 - - 有奖问答完结子版

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xunmengyuan

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1楼 2010-12-02 19:05:27

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zhang_ki

铜虫 (初入文坛)

博学EPI: 1
应助: 0 (幼儿园)
金币: 96.3
帖子: 33
在线: 10.4小时
虫号: 663384

xunmengyuan(金币+1, 博学EPI+1): 2010-12-09 08:53:30

难道是短路了？

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2楼2010-12-06 16:12:44

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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

xunmengyuan(金币+1): 2010-12-09 08:53:35

射频功率源，你那个是直流电源吧，射频的只有偏压和功率啊，直流电源有你说的那个！

赞一下(1人)

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3楼2010-12-06 17:08:01

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zhongaihua

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 210.3
帖子: 287
在线: 119.9小时
虫号: 891618

引用回帖:

Originally posted by xunmengyuan at 2010-12-02 19:05:27:
我们磁控溅射上的射频功率源最近坏了，加功率的时候电流很大而电压很小，以为是电子管坏了，换了新的电子管还是不行，而且电子管很烫手，请教高手指点

是不是靶材跟上面的罩子距离近了？气体很容易就被击穿了，所以有电流没电压？

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4楼2010-12-08 18:44:58

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460104898

铜虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 85.2
帖子: 342
在线: 248.1小时
虫号: 802902

到底是什么问题呢？麻烦LZ说下？
真的很想知道..

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5楼2011-04-14 15:46:23

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