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磁控溅射射频功率源的问题
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xunmengyuan
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2010-12-02 19:05:27
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zhang_ki
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xunmengyuan(金币+1, 博学EPI+1): 2010-12-09 08:53:30
难道是短路了?
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2楼
2010-12-06 16:12:44
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zhaohaixing
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xunmengyuan(金币+1): 2010-12-09 08:53:35
射频功率源,你那个是直流电源吧,射频的只有偏压和功率啊,直流电源有你说的那个!
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3楼
2010-12-06 17:08:01
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zhongaihua
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Originally posted by
xunmengyuan
at 2010-12-02 19:05:27:
我们磁控溅射上的射频功率源最近坏了,加功率的时候电流很大而电压很小,以为是电子管坏了,换了新的电子管还是不行,而且电子管很烫手,请教高手指点
是不是靶材跟上面的罩子距离近了?气体很容易就被击穿了,所以有电流没电压?
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4楼
2010-12-08 18:44:58
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460104898
铜虫
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到底是什么问题呢?麻烦LZ说下?
真的很想知道..
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5楼
2011-04-14 15:46:23
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