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xunmengyuan

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zhang_ki

铜虫 (初入文坛)


xunmengyuan(金币+1, 博学EPI+1): 2010-12-09 08:53:30
难道是短路了?
2楼2010-12-06 16:12:44
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xunmengyuan(金币+1): 2010-12-09 08:53:35
射频功率源,你那个是直流电源吧,射频的只有偏压和功率啊,直流电源有你说的那个!
3楼2010-12-06 17:08:01
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zhongaihua

新虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by xunmengyuan at 2010-12-02 19:05:27:
我们磁控溅射上的射频功率源最近坏了,加功率的时候电流很大而电压很小,以为是电子管坏了,换了新的电子管还是不行,而且电子管很烫手,请教高手指点

是不是靶材跟上面的罩子距离近了?气体很容易就被击穿了,所以有电流没电压?
4楼2010-12-08 18:44:58
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460104898

铜虫 (正式写手)


到底是什么问题呢?麻烦LZ说下?
真的很想知道..
5楼2011-04-14 15:46:23
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