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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~
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1105wf

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~

采用射频磁控溅射的方法，在玻璃基片上镀4um厚的铝膜，
铝膜没有光泽，颜色发白是怎么回事啊~~~
以前镀的铝薄膜，光泽很好，颜色也是银白色，不知道现在后铝膜颜色发白是什么原因~~
虫虫们帮忙分析一下哈~~
现在学校不能做扫描电镜，也不知道是不是致密性的问题
有没有人遇到这种情况啊
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1楼2011-04-04 14:38:05
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treechen

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
1105wf(金币+2): O(∩_∩)O谢谢 2011-04-04 16:44:51
1105wf(金币+1): 2011-04-04 17:40:30
1105wf(金币+7): 2011-04-20 09:13:01
是不是氧化了，我们有次镀的是黑的，电压没控制好
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-04-04 16:22:25
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1105wf

金虫 (正式写手)
这个不清楚
我其实镀的是Al/Al2O3/Al
厚度分别是250nm,250nm,4um
最后一层Al镀出来的颜色泛白   实在不知道是什么原因
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3楼2011-04-04 17:42:14
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Langrisser

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
请问一下镀Al2O3工艺参数大概多少？
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-10-12 22:17:08
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
如果镀Al和Al2O3用的是同一块铝靶，很可能是最外层的Al膜略有氧化。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-10-12 23:05:10
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a383636289

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1楼: Originally posted by 1105wf at 2011-04-04 14:38:05:
采用射频磁控溅射的方法，在玻璃基片上镀4um厚的铝膜，
铝膜没有光泽，颜色发白是怎么回事啊~~~
以前镀的铝薄膜，光泽很好，颜色也是银白色，不知道现在后铝膜颜色发白是什么原因~~
虫虫们帮忙分析一下哈~~
现 ...

我镀过的也是黑的！
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6楼2011-12-28 15:50:21
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alligator666

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by treechen at 2011-04-04 16:22:25:
是不是氧化了，我们有次镀的是黑的，电压没控制好

电压控制不好会变黑么，请问一下具体是什么原理呀，应该怎么控制电压，
我做的也是黑的，黑色的也不是氧化吧，不知道是什么东西
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7楼2012-01-12 09:42:15
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alligator666

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by a383636289 at 2011-12-28 15:50:21:
我镀过的也是黑的！

你的是溅射镀膜么，那最后怎么办了啊，
我现在做的合金薄膜出来也是黑的..做的时候好像还好着呢
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8楼2012-01-12 09:44:04
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爱诺金

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是因为生长太厚了   我长了大概1.5um，也是苍白色。我做的SEM看见表面颗粒很大，能谱显示没有氧。 我之前长出银白色的是什么条件长的 ，有多厚。
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9楼2014-06-16 14:25:13
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