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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~
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1105wf

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~

采用射频磁控溅射的方法，在玻璃基片上镀4um厚的铝膜，
铝膜没有光泽，颜色发白是怎么回事啊~~~
以前镀的铝薄膜，光泽很好，颜色也是银白色，不知道现在后铝膜颜色发白是什么原因~~
虫虫们帮忙分析一下哈~~
现在学校不能做扫描电镜，也不知道是不是致密性的问题
有没有人遇到这种情况啊
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1楼2011-04-04 14:38:05
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
如果镀Al和Al2O3用的是同一块铝靶，很可能是最外层的Al膜略有氧化。
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5楼2011-10-12 23:05:10
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treechen

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
1105wf(金币+2): O(∩_∩)O谢谢 2011-04-04 16:44:51
1105wf(金币+1): 2011-04-04 17:40:30
1105wf(金币+7): 2011-04-20 09:13:01
是不是氧化了，我们有次镀的是黑的，电压没控制好
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2楼2011-04-04 16:22:25
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1105wf

金虫 (正式写手)
这个不清楚
我其实镀的是Al/Al2O3/Al
厚度分别是250nm,250nm,4um
最后一层Al镀出来的颜色泛白   实在不知道是什么原因
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3楼2011-04-04 17:42:14
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Langrisser

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
请问一下镀Al2O3工艺参数大概多少？
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-10-12 22:17:08
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