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【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜,颜色发白是怎么回事啊~~~
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1105wf
金虫
(正式写手)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 1223.6
帖子: 385
在线: 28.9小时
虫号: 420744
[交流]
【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜,颜色发白是怎么回事啊~~~
采用射频磁控溅射的方法,在玻璃基片上镀4um厚的铝膜,
铝膜没有光泽,颜色发白是怎么回事啊~~~
以前镀的铝薄膜,光泽很好,颜色也是银白色,不知道现在后铝膜颜色发白是什么原因~~
虫虫们帮忙分析一下哈~~
现在学校不能做扫描电镜,也不知道是不是致密性的问题
有没有人遇到这种情况啊
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2011-04-04 14:38:05
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xjtu-sunhl
金虫
(正式写手)
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(幼儿园)
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在线: 85.7小时
虫号: 1185730
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
如果镀Al和Al2O3用的是同一块铝靶,很可能是最外层的Al膜略有氧化。
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5楼
2011-10-12 23:05:10
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treechen
木虫
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虫号: 268482
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
1105wf(金币+2): O(∩_∩)O谢谢 2011-04-04 16:44:51
1105wf(金币+1): 2011-04-04 17:40:30
1105wf(金币+7): 2011-04-20 09:13:01
是不是氧化了,我们有次镀的是黑的,电压没控制好
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2楼
2011-04-04 16:22:25
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1105wf
金虫
(正式写手)
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在线: 28.9小时
虫号: 420744
这个不清楚
我其实镀的是Al/Al2O3/Al
厚度分别是250nm,250nm,4um
最后一层Al镀出来的颜色泛白 实在不知道是什么原因
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3楼
2011-04-04 17:42:14
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Langrisser
新虫
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
请问一下镀Al2O3工艺参数大概多少?
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4楼
2011-10-12 22:17:08
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