应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
101/1返回列表
查看: 2479  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

玖月冥

金虫 (正式写手)

[求助] 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？

初步开始接触磁控溅射，请高手们指点
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

演讲 报告 上课素材

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-08-02 10:56:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)
莫有人哪。。。
回复此楼
2楼2011-08-03 09:46:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kissyliu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

玖月冥(金币+10): 2011-08-04 09:12:03
这个问题，需要看你的实验条件才能分析！单纯看着两个图得不出什么好结论！

有可能是溅射功率太大，基体加热温度太高，冷却时间太短，等各种问题造成的薄膜龟裂，需要你提供更多一点的信息，还有可能是氧化杂质，这个都不好说！
赞一下 回复此楼
3楼2011-08-03 23:53:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kissyliu at 2011-08-03 23:53:57:
这个问题，需要看你的实验条件才能分析！单纯看着两个图得不出什么好结论！

有可能是溅射功率太大，基体加热温度太高，冷却时间太短，等各种问题造成的薄膜龟裂，需要你提供更多一点的信息，还有可能是氧化杂质 ...

我的实验条件是溅射功率200w，压强分别是1.2p和4p，基体温度应该不高，因为整个过程都有冷却水冷却的，时间是3个小时，我感觉可能是功率过高造成的。谢谢您啊~~~
赞一下 回复此楼
4楼2011-08-04 09:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)
什么时候裂的？是做完取出来就这样吗？还是放置一段时间才裂的？
什么衬底？洗干净了么？
溅射时间长短，如果有人做过建议先研究一下文献。
赞一下 回复此楼
逐渐成为工作狂，技术狂.............
5楼2011-08-04 11:00:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by haode22 at 2011-08-04 11:00:05:
什么时候裂的？是做完取出来就这样吗？还是放置一段时间才裂的？
什么衬底？洗干净了么？
溅射时间长短，如果有人做过建议先研究一下文献。

基底是硅片，洗干净了，溅射3小时，好像没有多少人在做，您可以提供几篇文献么？谢谢啦~~~
赞一下 回复此楼
6楼2011-08-04 11:48:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

persuit2012

新虫 (小有名气)
各位仁兄，想请教下  你们用的磁控溅射仪是哪个厂家的？优缺点、性能参数……可以溅射Cu吗？溅射效果怎么样？         谢谢！Q675492067
赞一下 回复此楼
7楼2011-09-21 10:56:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫
膜的应力太大导致开裂，可以选择镀膜时间短一些，或是基底处理一下
赞一下 回复此楼
hopeisagoodthing........
8楼2014-04-23 18:58:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zodiac13

金虫 (小有名气)
时间太长了，衬底温度高，然后薄膜和硅片的热膨胀系数不一样导致的薄膜开裂。
赞一下 回复此楼
9楼2014-04-23 19:03:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzq18340

新虫 (初入文坛)
请问楼主镀膜用的什么参数啊，我要在镍基单晶上镀层硼膜啊。求
赞一下 回复此楼
好好加油！
10楼2014-09-22 22:35:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 玖月冥 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭