24小时热门版块排行榜    

查看: 2551  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)

[求助] 我用磁控溅射镀的硼膜,是这个样子的,请问高手们是什么原因,该怎么办?

初步开始接触磁控溅射,请高手们指点


回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

演讲 报告 上课素材

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖月冥

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kissyliu at 2011-08-03 23:53:57:
这个问题,需要看你的实验条件才能分析!单纯看着两个图得不出什么好结论!

有可能是溅射功率太大,基体加热温度太高,冷却时间太短,等各种问题造成的薄膜龟裂,需要你提供更多一点的信息,还有可能是氧化杂质 ...

我的实验条件是溅射功率200w,压强分别是1.2p和4p,基体温度应该不高,因为整个过程都有冷却水冷却的,时间是3个小时,我感觉可能是功率过高造成的。谢谢您啊~~~
4楼2011-08-04 09:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

玖月冥

金虫 (正式写手)

莫有人哪。。。
2楼2011-08-03 09:46:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kissyliu

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

玖月冥(金币+10): 2011-08-04 09:12:03
这个问题,需要看你的实验条件才能分析!单纯看着两个图得不出什么好结论!

有可能是溅射功率太大,基体加热温度太高,冷却时间太短,等各种问题造成的薄膜龟裂,需要你提供更多一点的信息,还有可能是氧化杂质,这个都不好说!
3楼2011-08-03 23:53:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)

什么时候裂的?是做完取出来就这样吗?还是放置一段时间才裂的?
什么衬底?洗干净了么?
溅射时间长短,如果有人做过建议先研究一下文献。
逐渐成为工作狂,技术狂.............
5楼2011-08-04 11:00:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 初试 317 +7 半拉月丙 2026-03-20 7/350 2026-03-21 22:26 by peike
[考研] 0703化学调剂 ,六级已过,有科研经历 +14 曦熙兮 2026-03-15 14/700 2026-03-21 19:12 by ColorlessPI
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +6 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-21 17:21 by 学员8dgXkO
[考研] 0805材料320求调剂 +3 深海物语 2026-03-20 3/150 2026-03-21 15:46 by 无际的草原
[考研] 306求调剂 +4 chuanzhu川烛 2026-03-18 4/200 2026-03-21 08:25 by laoshidan
[考研] 070300化学319求调剂 +7 锦鲤0909 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:46 by JourneyLucky
[考研] 材料 336 求调剂 +3 An@. 2026-03-18 4/200 2026-03-21 01:39 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +5 材化逐梦人 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:26 by JourneyLucky
[考研] 323求调剂 +3 洼小桶 2026-03-18 3/150 2026-03-20 22:54 by JourneyLucky
[考研] 288求调剂 +16 于海海海海 2026-03-19 16/800 2026-03-20 22:28 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ,070300化学学硕,总分287,双非一本,求调剂。 +4 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:15 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸! 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:35 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +4 生物工程调剂 2026-03-16 12/600 2026-03-19 11:10 by 生物工程调剂
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油!? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
信息提示
请填处理意见