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玖月冥

金虫 (正式写手)

[求助] 我用磁控溅射镀的硼膜,是这个样子的,请问高手们是什么原因,该怎么办?

初步开始接触磁控溅射,请高手们指点


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玖月冥

金虫 (正式写手)

莫有人哪。。。
2楼2011-08-03 09:46:21
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kissyliu

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

玖月冥(金币+10): 2011-08-04 09:12:03
这个问题,需要看你的实验条件才能分析!单纯看着两个图得不出什么好结论!

有可能是溅射功率太大,基体加热温度太高,冷却时间太短,等各种问题造成的薄膜龟裂,需要你提供更多一点的信息,还有可能是氧化杂质,这个都不好说!
3楼2011-08-03 23:53:57
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玖月冥

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kissyliu at 2011-08-03 23:53:57:
这个问题,需要看你的实验条件才能分析!单纯看着两个图得不出什么好结论!

有可能是溅射功率太大,基体加热温度太高,冷却时间太短,等各种问题造成的薄膜龟裂,需要你提供更多一点的信息,还有可能是氧化杂质 ...

我的实验条件是溅射功率200w,压强分别是1.2p和4p,基体温度应该不高,因为整个过程都有冷却水冷却的,时间是3个小时,我感觉可能是功率过高造成的。谢谢您啊~~~
4楼2011-08-04 09:10:26
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haode22

金虫 (正式写手)

什么时候裂的?是做完取出来就这样吗?还是放置一段时间才裂的?
什么衬底?洗干净了么?
溅射时间长短,如果有人做过建议先研究一下文献。
逐渐成为工作狂,技术狂.............
5楼2011-08-04 11:00:05
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玖月冥

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by haode22 at 2011-08-04 11:00:05:
什么时候裂的?是做完取出来就这样吗?还是放置一段时间才裂的?
什么衬底?洗干净了么?
溅射时间长短,如果有人做过建议先研究一下文献。

基底是硅片,洗干净了,溅射3小时,好像没有多少人在做,您可以提供几篇文献么?谢谢啦~~~
6楼2011-08-04 11:48:07
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persuit2012

新虫 (小有名气)

各位仁兄,想请教下  你们用的磁控溅射仪是哪个厂家的?优缺点、性能参数……可以溅射Cu吗?溅射效果怎么样?         谢谢!Q675492067
7楼2011-09-21 10:56:37
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

膜的应力太大导致开裂,可以选择镀膜时间短一些,或是基底处理一下
hopeisagoodthing........
8楼2014-04-23 18:58:10
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zodiac13

金虫 (小有名气)

时间太长了,衬底温度高,然后薄膜和硅片的热膨胀系数不一样导致的薄膜开裂。
9楼2014-04-23 19:03:25
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zzq18340

新虫 (初入文坛)

请问楼主镀膜用的什么参数啊,我要在镍基单晶上镀层硼膜啊。求
好好加油!
10楼2014-09-22 22:35:32
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