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halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
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1楼 2011-11-27 15:39:04
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
当然是越高越好，最好在1点几乘负4左右。
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2楼2011-11-27 16:00:09
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bill_shark

银虫 (小有名气)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:43
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也是抽到5e-4Pa开始溅射的。
磁控溅射机坏了？抽不动的话估计是漏气吧？用酒精检漏了么？
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3楼2011-11-27 18:24:43
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ybhan

金虫 (正式写手)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:52
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射
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4楼2011-11-28 09:24:55
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flyjiang88

铜虫 (小有名气)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
我们不是溅射的氧化锌，一般抽到7×10-3A认为很好。
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5楼2011-11-28 10:50:23
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

不会吧，只抽到10e-1？

我们也是保持在2Pa溅射。
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6楼2011-11-28 19:20:40
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-27 18:24:43:
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也 ...

漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？
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7楼2011-11-28 19:24:43
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bill_shark

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

你说的真空度是工作气压吧，一般文献里本底真空都在10^-3Pa以下，然后充工作气体到10^-1Pa溅射吧？
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8楼2011-11-28 19:32:22
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bill_shark

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-28 19:24:43:
漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？

有可能是进气的地方漏，我们机器经常在这里漏，还有就是气阀用的时间长了会松动。。。分子泵漏气的话容易损坏，要小心。
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9楼2011-11-28 19:35:18
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ybhan

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-28 19:32:22:
你说的真空度是工作气压吧，一般文献里本底真空都在10^-3Pa以下，然后充工作气体到10^-1Pa溅射吧？

反正我做实验的时候，气压保持在1.5-6Pa，本底真空，至少0.1Pa，
就是这个参数，我用的溅射仪非常老式的，大概26年前的。
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10楼2011-11-29 12:34:48
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-28 19:35:18:
有可能是进气的地方漏，我们机器经常在这里漏，还有就是气阀用的时间长了会松动。。。分子泵漏气的话容易损坏，要小心。

请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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11楼2011-11-30 11:15:57
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bill_shark

银虫 (小有名气)
halcyon1988(金币+5): 2011-11-30 16:37:58
引用回帖:
11楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-30 11:15:57:
请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

酒精也可以，如果你有喷枪的话也可以对着吹气，看气压会不会上升。或者进气另一头连接的钢瓶有没有漏气，（一般钢瓶和进气管之间有个控制阀接流量计的，所以如果控制阀关死了钢瓶的气压是不会下降的。）
有的时候漏气量很小，酒精也检测不出来，我们是用手轻轻摇一下进气管，（比较野蛮。。。）如果气压上升了就是这里漏气了。检测漏气的时候要在高真空下检测，大约1e-2Pa以下，低真空是很难测出来的，除非漏孔很大。
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12楼2011-11-30 12:04:57
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yanzhedeyu

金虫 (正式写手)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
工业级的大线，本底真空：5.0*10-7mbar  
开工艺压力3.0*10-3mbar
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13楼2011-12-24 02:26:23
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songhl1015

木虫 (正式写手)
★
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我们一般是抽到1.3*10-4Pa，1Pa的时候开始溅射，之前也出过类似的问题，是机械泵的问题，你检查下机械泵是不是坏了，再一个就是检漏
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14楼2012-05-02 10:31:41
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snscm

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

工艺前的真空度确实应该是越高越好。本底真空度仅抽到0.1Pa量级，腔室内会残留大量杂质气体，影响成膜质量。
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15楼2012-05-15 13:05:20
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zr632613149

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空度一般是10的负4级别，溅射时候的压强级别应该是零点几帕到几帕。
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16楼2012-05-16 09:05:29
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zr632613149

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
打开压强计，用乙醇滴在你认为可能漏气的进气出气的地方，如果压强计读数发生大幅度变化，则证明漏气。
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17楼2012-05-16 09:18:04
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们一般抽到7e-4pa溅射时采用1.0pa,
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18楼2012-06-07 22:34:33
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yanglei839

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不能，一般要2X10-4Pa一下吧
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19楼2014-04-23 18:55:24
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