应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知（长期有效）
31/1返回列表
查看: 4034  |  回复: 18
查看全部回帖@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼2011-11-27 15:39:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ybhan

金虫 (正式写手)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:52
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2011-11-28 09:24:55
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ybhan

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-28 19:32:22:
你说的真空度是工作气压吧，一般文献里本底真空都在10^-3Pa以下，然后充工作气体到10^-1Pa溅射吧？

反正我做实验的时候，气压保持在1.5-6Pa，本底真空，至少0.1Pa，
就是这个参数，我用的溅射仪非常老式的，大概26年前的。
赞一下 回复此楼
10楼2011-11-29 12:34:48
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 halcyon1988 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭