| 查看: 4949 | 回复: 18 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
|
|||
| 我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有103人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 磁控溅射设备真空度测试
已经有3人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】磁控溅射和电子束蒸发两种方式来镀制金属铬膜，哪种的附着力好一些呢？
已经有5人回复
10楼2011-11-29 12:34:48
2楼2011-11-27 16:00:09
3楼2011-11-27 18:24:43
4楼2011-11-28 09:24:55
