应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
191/1返回列表
查看: 4968  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？

我们实验室磁控溅射真空度一般都抽到5×10^（-4）Pa之后开始溅射。 最近实验室磁控溅射仪坏了，只能抽到十的负三Pa，不知道大家磁控溅射真空都抽到多少Pa？像我抽到2×10^（-3）能开始溅射吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-11-27 15:39:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kingluck

至尊木虫 (文坛精英)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
当然是越高越好，最好在1点几乘负4左右。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-11-27 16:00:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bill_shark

银虫 (小有名气)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:43
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也是抽到5e-4Pa开始溅射的。
磁控溅射机坏了？抽不动的话估计是漏气吧？用酒精检漏了么？
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2011-11-27 18:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ybhan

金虫 (正式写手)
★ ★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 2011-11-30 19:27:52
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2011-11-28 09:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

flyjiang88

铜虫 (小有名气)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
我们不是溅射的氧化锌，一般抽到7×10-3A认为很好。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-11-28 10:50:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

不会吧，只抽到10e-1？

我们也是保持在2Pa溅射。
赞一下 回复此楼
6楼2011-11-28 19:20:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-27 18:24:43:
真空度当然越高越好，如果本地真空低的话，可能做出来的ZnO里面的氧含量会有些变化，因为真空室内吸附的氧气没有完全抽出，就相当于在镀制薄膜时充氧了。这样的薄膜透过率会有些变化，导电性也会变。
我们一般也 ...

漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？
赞一下 回复此楼
7楼2011-11-28 19:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bill_shark

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

你说的真空度是工作气压吧，一般文献里本底真空都在10^-3Pa以下，然后充工作气体到10^-1Pa溅射吧？
赞一下 回复此楼
8楼2011-11-28 19:32:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bill_shark

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-28 19:24:43:
漏气是没错，当天抽到10的负三次方帕，第二天就到10五次方了，但是让那边公司的师傅来维修，都没有检测到漏气的地方。至少真空室是没有检测到漏气点。难道是分子泵周围有问题？

有可能是进气的地方漏，我们机器经常在这里漏，还有就是气阀用的时间长了会松动。。。分子泵漏气的话容易损坏，要小心。
赞一下 回复此楼
9楼2011-11-28 19:35:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ybhan

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-28 19:32:22:
你说的真空度是工作气压吧，一般文献里本底真空都在10^-3Pa以下，然后充工作气体到10^-1Pa溅射吧？

反正我做实验的时候，气压保持在1.5-6Pa，本底真空，至少0.1Pa，
就是这个参数，我用的溅射仪非常老式的，大概26年前的。
赞一下 回复此楼
10楼2011-11-29 12:34:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

halcyon1988

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by bill_shark at 2011-11-28 19:35:18:
有可能是进气的地方漏，我们机器经常在这里漏，还有就是气阀用的时间长了会松动。。。分子泵漏气的话容易损坏，要小心。

请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
11楼2011-11-30 11:15:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bill_shark

银虫 (小有名气)
halcyon1988(金币+5): 2011-11-30 16:37:58
引用回帖:
11楼: Originally posted by halcyon1988 at 2011-11-30 11:15:57:
请问如何检测是否是进气的地方漏呢？还是用酒精吗？
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

酒精也可以，如果你有喷枪的话也可以对着吹气，看气压会不会上升。或者进气另一头连接的钢瓶有没有漏气，（一般钢瓶和进气管之间有个控制阀接流量计的，所以如果控制阀关死了钢瓶的气压是不会下降的。）
有的时候漏气量很小，酒精也检测不出来，我们是用手轻轻摇一下进气管，（比较野蛮。。。）如果气压上升了就是这里漏气了。检测漏气的时候要在高真空下检测，大约1e-2Pa以下，低真空是很难测出来的，除非漏孔很大。
赞一下 回复此楼
12楼2011-11-30 12:04:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzhedeyu

金虫 (正式写手)
★
halcyon1988(金币+1):谢谢参与
工业级的大线，本底真空：5.0*10-7mbar  
开工艺压力3.0*10-3mbar
赞一下(1人) 回复此楼
13楼2011-12-24 02:26:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songhl1015

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们一般是抽到1.3*10-4Pa，1Pa的时候开始溅射，之前也出过类似的问题，是机械泵的问题，你检查下机械泵是不是坏了，再一个就是检漏
赞一下 回复此楼
14楼2012-05-02 10:31:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

snscm

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by ybhan at 2011-11-28 09:24:55:
不认为真空度越高愈好！因为真空度太低的话，建设速率将非常低，我一般将本地真空抽到10^-1 Pa，然后真空度保持在大概2Pa左右溅射

工艺前的真空度确实应该是越高越好。本底真空度仅抽到0.1Pa量级，腔室内会残留大量杂质气体，影响成膜质量。
赞一下 回复此楼
15楼2012-05-15 13:05:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zr632613149

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空度一般是10的负4级别，溅射时候的压强级别应该是零点几帕到几帕。
赞一下 回复此楼
16楼2012-05-16 09:05:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zr632613149

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
打开压强计，用乙醇滴在你认为可能漏气的进气出气的地方，如果压强计读数发生大幅度变化，则证明漏气。
赞一下 回复此楼
17楼2012-05-16 09:18:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jnxyzhhh

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们一般抽到7e-4pa溅射时采用1.0pa,
赞一下 回复此楼
18楼2012-06-07 22:34:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanglei839

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不能，一般要2X10-4Pa一下吧
赞一下 回复此楼
19楼2014-04-23 18:55:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 halcyon1988 的主题更新
191/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 哪位高人中了，把查询到的截图贴出来让我看看，让我长长见识 +6 yuleib84 2026-08-26 7/350 2026-08-31 19:46 by 鱼翔浅底1
[基金申请] 面上意见出来了 +12 黄鸟于飞Chao 2026-08-29 23/1150 2026-08-31 18:57 by 黄鸟于飞Chao
[基金申请] 能否申诉？ +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 国社科又开始会评了，不知道这次命运如何 +6 雨打竹帘 2026-08-30 10/500 2026-08-31 09:29 by huixian257
[基金申请] 基金不中，共勉 +12 eulota 2026-08-26 12/600 2026-08-31 08:42 by ZJTJZ
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +6 gdd2018 2026-08-28 11/550 2026-08-30 08:58 by 超级无敌华子
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +4 bud_bud 2026-08-27 7/350 2026-08-29 07:23 by foolishmani
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？ +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭