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c_y_y

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹 已有14人参与

请问各位大侠,这是正常现象吗?

溅射金属材料后,真空室没那么脏
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wangyinquan

铁虫 (小有名气)


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磁控溅射镀膜在薄膜的均匀性方面有一定的局限性,随着距离靶材中央距离的增大,薄膜厚度会逐渐变薄,并且会出现环状彩色条纹,是由于薄膜厚度不同,反射不同波长的光线引起的,属正常现象
8楼2012-03-25 22:32:58
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普通回帖

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师

★ ★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-03-21 08:10:49
个人觉得红蓝条纹出现是很正常的,因为ZnO薄膜是透明的,当ZnO的厚度等于红光波长的一半时候,刚好吸收红光,所以呈蓝色。这是个人的拙见啊。
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
2楼2012-03-21 00:22:04
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wushujie

木虫 (正式写手)

科研菜鸟

却实很正常!
比我们牛的人都在努力,我们还能不去拼命吗?
3楼2012-03-21 08:29:00
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c_y_y

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by minglight9 at 2012-03-21 00:22:04:
个人觉得红蓝条纹出现是很正常的,因为ZnO薄膜是透明的,当ZnO的厚度等于红光波长的一半时候,刚好吸收红光,所以呈蓝色。这是个人的拙见啊。

那是我镀膜太厚了,

如果只有100nm的话,就没有条纹了吧
4楼2012-03-21 09:15:25
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待飞的烟凝

银虫 (初入文坛)

qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 2012-03-21 10:08:22
那是镀膜不均匀
5楼2012-03-21 09:19:52
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kuailefyz

木虫 (正式写手)

可能是镀膜不均引起
激情可以创造奇迹
6楼2012-03-22 09:32:37
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)


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壁上的膜不均匀就这样的,正常现象
戒躁
7楼2012-03-22 10:00:13
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neves

木虫 (正式写手)


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建议你在壁上贴一些薄的铝箔遮挡一下,隔段时间更换一次,不然时间久了壁上的膜积累厚了会脱落,引起更大的污染。
9楼2012-04-08 10:55:46
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)


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就是薄膜厚度不同。不是脏了。但是腔内还是应该经常清理的
10楼2012-04-08 12:06:23
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