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cristianwj

铜虫 (小有名气)


[交流] 【求助】ZnO的磁控溅射

实验室有台直流磁控溅射设备,打算利用起来溅射ZnO薄膜。
想请教一下,用磁控溅射的话是用ZnO靶材好呢,还是用Zn靶?

如果用Zn靶的话,是不是需要通入氩气和氧气,调节制备ZnO。
用ZnO的话是不是就不用氧气了,但是ZnO靶材可以用在直流磁控溅射中吗?
(不是射频溅射)

另外打听一下,一个圆靶材(3寸)大概需要多少钱?
怎么有的报价2000,有的才3-500?
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418783132

木虫 (著名写手)


★ ★
cristianwj(金币+2):谢谢参与
cristianwj(金币+4): 感谢! 2011-03-09 12:22:05
enquan123(金币+1): 鼓励交流 2011-03-09 16:41:13
用Zn ,报价有时和纯度有关,  ,你是哪里的???
2楼2011-03-09 11:35:50
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cristianwj

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by 418783132 at 2011-03-09 11:35:50:
用Zn ,报价有时和纯度有关,  ,你是哪里的???

我在甘肃兰州
3楼2011-03-09 12:22:33
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418783132

木虫 (著名写手)


cristianwj(金币+4): 谢谢 2011-03-15 08:40:55
直流溅射只能做导体材料,,,
4楼2011-03-12 17:08:48
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