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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射做薄膜失败了吗
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题：
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。
  请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！
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1楼 2011-12-30 13:59:02
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-30 19:44:17
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗？  是否电极间距离太小？  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是，垂直电极，不是表面电极。。
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3楼2012-01-01 16:48:34
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵，经典的问题，以前我也有过这样的问题，你做的氧化铈薄膜有多厚？
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4楼2012-02-02 13:29:06
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢参与应助~欢迎常来^0^ 2012-02-05 09:49:08
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:29
建议你第一步把样品的四周部分都切掉，这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2，如果薄膜<50nm，短路的可能性很大
3，看你是怎么连接2个电极，是压铟还是电焊，或者直接用探针，都matter，比如探针可以刺穿pt和薄膜，。。。。。
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5楼2012-02-02 13:33:33
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:35
是否是因为CeO2溅射过程中失氧，变成导体？
CeO很厚的情况下也导电么？
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6楼2012-02-02 13:34:29
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:44
CeO2 导电是可能的，因为我们用YBCO 和CeO2一起，超导特性提高。
但是短路不太可能
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7楼2012-02-05 11:02:18
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-05 11:02:18:
CeO2 导电是可能的，因为我们用YBCO 和CeO2一起，超导特性提高。
但是短路不太可能

超导特性？
你指的是超导哪方面的特性？
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8楼2012-02-05 11:35:30
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aslanchen

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2012-02-04 15:35:30:
超导特性？
你指的是超导哪方面的特性？

YBCO是一种典型的高温超导体，我们掺入少量CeO2(理论上的绝缘体），发现YBCO的TC虽然有一点降低（大概1-2K），但是电流密度可以数量级的提高，这就说明CeO2可能可以让超电流通过。
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9楼2012-02-05 12:16:30
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢积极参与交流应助 2012-02-06 14:49:28
引用回帖:
9楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-05 12:16:30:
YBCO是一种典型的高温超导体，我们掺入少量CeO2(理论上的绝缘体），发现YBCO的TC虽然有一点降低（大概1-2K），但是电流密度可以数量级的提高，这就说明CeO2可能可以让超电流通过。

不是吧，有可能CeO2作为定扎中心，可以阻碍超导态和正常态相界的迁移
这样，超导相的理解电流密度才可以提高吧？
CeO2作为氧化物，其电阻肯定不小，不可能让超导电流有几个数量级的提升。

这种第二相的加入，大多数都是作为定扎中心存在的。
外行，轻拍
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10楼2012-02-05 12:22:30
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