24小时热门版块排行榜    

查看: 3716  |  回复: 21

惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题:
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt,然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜,然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的,侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密,然后通过改进RF溅射参数,增大膜厚,但是仍然导通。啊啊啊,崩溃了。
  请问为什么呀?还可以怎么改进呢?谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

2楼2011-12-30 19:44:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

惊蛰8277

银虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗?  是否电极间距离太小?  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是,垂直电极,不是表面电极。。
3楼2012-01-01 16:48:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵,经典的问题,以前我也有过这样的问题,你做的氧化铈薄膜有多厚?
4楼2012-02-02 13:29:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢参与应助~欢迎常来^0^ 2012-02-05 09:49:08
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:29
建议你第一步把样品的四周部分都切掉,这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2,如果薄膜<50nm,短路的可能性很大
3,看你是怎么连接2个电极,是压铟还是电焊,或者直接用探针,都matter,比如探针可以刺穿pt和薄膜,。。。。。
5楼2012-02-02 13:33:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:35
是否是因为CeO2溅射过程中失氧,变成导体?
CeO很厚的情况下也导电么?
6楼2012-02-02 13:34:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:44
CeO2 导电是可能的,因为我们用YBCO 和CeO2一起,超导特性提高。
但是短路不太可能
7楼2012-02-05 11:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
7楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-05 11:02:18:
CeO2 导电是可能的,因为我们用YBCO 和CeO2一起,超导特性提高。
但是短路不太可能

超导特性?
你指的是超导哪方面的特性?
8楼2012-02-05 11:35:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aslanchen

银虫 (小有名气)


引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2012-02-04 15:35:30:
超导特性?
你指的是超导哪方面的特性?

YBCO是一种典型的高温超导体,我们掺入少量CeO2(理论上的绝缘体),发现YBCO的TC虽然有一点降低(大概1-2K),但是电流密度可以数量级的提高,这就说明CeO2可能可以让超电流通过。
9楼2012-02-05 12:16:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢积极参与交流应助 2012-02-06 14:49:28
引用回帖:
9楼: Originally posted by aslanchen at 2012-02-05 12:16:30:
YBCO是一种典型的高温超导体,我们掺入少量CeO2(理论上的绝缘体),发现YBCO的TC虽然有一点降低(大概1-2K),但是电流密度可以数量级的提高,这就说明CeO2可能可以让超电流通过。

不是吧,有可能CeO2作为定扎中心,可以阻碍超导态和正常态相界的迁移
这样,超导相的理解电流密度才可以提高吧?
CeO2作为氧化物,其电阻肯定不小,不可能让超导电流有几个数量级的提升。

这种第二相的加入,大多数都是作为定扎中心存在的。
外行,轻拍
10楼2012-02-05 12:22:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 惊蛰8277 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂,求各位老师收留 +7 秋有木北 2026-03-14 7/350 2026-03-15 17:30 by 小物理化学
[基金申请] 国自科面上基金字体 +4 iwuli 2026-03-12 5/250 2026-03-15 17:07 by 风云无泪
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化,一志愿:哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 2026考研调剂+本科延边大学+山东大学+生物化学与分子生物学+有项目经验 +3 ccdsscjy 2026-03-09 6/300 2026-03-14 02:14 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-09 4/200 2026-03-14 02:06 by tranquil_ya
[考研] 0703求调剂 +7 jtyq001 2026-03-10 7/350 2026-03-14 01:06 by JourneyLucky
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:47 by JourneyLucky
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +6 XMCMM3.14159 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:28 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 285求调剂 +4 ytter 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:48 by jxchenghu
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 304求调剂(085602一志愿985) +12 化工人999 2026-03-09 12/600 2026-03-13 12:02 by JourneyLucky
[考研] 纺织、生物、化学、材料相关专业招生了 +4 耶耶业 2026-03-09 7/350 2026-03-12 19:05 by Equinoxhua
[考研] 420求调剂 +4 莫向外求11 2026-03-10 6/300 2026-03-12 14:41 by ruiyingmiao
信息提示
请填处理意见