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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与

请问大家一个问题:
  我在氧化铝基片上DC溅射Pt,然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜,然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的,侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密,然后通过改进RF溅射参数,增大膜厚,但是仍然导通。啊啊啊,崩溃了。
  请问为什么呀?还可以怎么改进呢?谢谢!
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aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
悠然zx11(金币+3): 多谢参与应助~欢迎常来^0^ 2012-02-05 09:49:08
惊蛰8277(金币+1): ★★★很有帮助 2012-02-15 14:11:29
建议你第一步把样品的四周部分都切掉,这样才能保证“侧面绝对没有粘上Pt”
2,如果薄膜<50nm,短路的可能性很大
3,看你是怎么连接2个电极,是压铟还是电焊,或者直接用探针,都matter,比如探针可以刺穿pt和薄膜,。。。。。
5楼2012-02-02 13:33:33
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

2楼2011-12-30 19:44:17
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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-30 19:44:17:
你是通过掩膜板来做电极的吗?  是否电极间距离太小?  

如果需做高精度的掩膜板请联系我们。

不是,垂直电极,不是表面电极。。
3楼2012-01-01 16:48:34
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aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
惊蛰8277(金币+1): 2012-02-15 14:11:18
呵呵呵,经典的问题,以前我也有过这样的问题,你做的氧化铈薄膜有多厚?
4楼2012-02-02 13:29:06
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