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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗？

我想知道在如果想在玻璃上磁控溅射金做电极之后，你们怎么清洗这些电极，感觉很脆，不敢去超声。
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1楼 2012-09-18 10:08:29
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
seagrove: 金币+1, 感谢应助交流 2012-09-18 10:20:34
金的附着力很差，浸泡常常会导致Au层松脱，一般没有必要清洗，真空腔拿出来直接用最好。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-09-18 10:11:27
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-18 10:11:27
金的附着力很差，浸泡常常会导致Au层松脱，一般没有必要清洗，真空腔拿出来直接用最好。

打底后是不是会好点
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3楼2012-09-18 10:30:06
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

当然好得多，一般用Cr, or Ti作为粘连层，10-20 nm左右的厚度。Au层厚度50-200 nm都可以。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼2012-09-18 11:31:59
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-18 11:31:59
当然好得多，一般用Cr, or Ti作为粘连层，10-20 nm左右的厚度。Au层厚度50-200 nm都可以。

谢谢，还有个问题，那打底后怎么清洗，可以超声吗
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5楼2012-09-19 10:43:47
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

才做好的电极，没必要超声清洗，你如果认为表面污染的话，最多在有机溶剂中浸泡一下，如果实在想超声的话，也得温柔点，低功率，短时间。
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creepon
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
6楼2012-09-19 10:48:12
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creepon

铁虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-19 10:48:12
才做好的电极，没必要超声清洗，你如果认为表面污染的话，最多在有机溶剂中浸泡一下，如果实在想超声的话，也得温柔点，低功率，短时间。

我是在别的实验室做好，拿回来再把没用的地方刻蚀掉，可是以后电极有点脏了，所以要洗。

有个问题想问下你：你有用过钛或者氧化钛打底吗？这些东西怎么去除
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7楼2012-09-19 12:39:31
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

我是通过电子胶作掩模制作图案，不需要除掉底层Ti.
估计你是先做一层金属膜，再用激光刻蚀成图案，就需要除掉Ti，激光打掉Ti估计要费些功夫，也可以考虑Cr。如果你实验室用的次数少，时间短的话，热处理好的话，不要垫底，短时间用也许还行。溅射法沉积的效果比蒸发法好得多。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
8楼2012-09-19 13:31:37
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