| 查看: 2736 | 回复: 16 | |||||
[交流]
【学术交流】 磁控溅射——应用领域交流
|
|||||
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition, PVD)技术早在20世纪初已有些应用,并在最近30年得到迅速发展,成为一门具有广阔应用前景的新技术。其中磁控溅射镀膜(magnetron sputtering)和离子镀膜(Ion Plating)应用最为广泛。 |
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
资源 | 前沿材料资讯 |
» 猜你喜欢
chemdraw
已经有5人回复
关于如何从代码看上不上会
已经有21人回复
大龄残疾硕士的一点执念
已经有24人回复
祈祷青基必中
已经有10人回复
b口会评
已经有6人回复
信息学部会评时间
已经有3人回复
在职考研
已经有7人回复
MSER送审了还被拒稿
已经有5人回复
硝基还原
已经有5人回复
化学口会评?应用基础研究和基础研究,希望能分开
已经有3人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
关于磁控溅射用的靶材方面的书籍
已经有22人回复
磁控溅射用的单晶硅片能重复使用吗
已经有5人回复
磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
已经有14人回复
磁控溅射电源问题
已经有11人回复
关于金属靶磁控溅射问题
已经有13人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题,用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同?
已经有13人回复
[求助]磁控溅射制备SiN,用的是射频电源,有辉光,但溅射不上
已经有11人回复
有在玻璃上磁控溅射上金做电极吗?
已经有7人回复
太阳能用的单晶硅片可以用来做磁控溅射的基底吗?
已经有7人回复
磁控溅射能起辉,但不能沉积
已经有21人回复
求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别?
已经有17人回复
做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢?
已经有26人回复
» 抢金币啦!回帖就可以得到:
90年 河北 回族女生 在京 诚征男友
+1/618
在深圳的河南人,男找女
+1/62
澳门大学周胤宁课题组招收2027年8月入学博士生
+1/42
北京师范大学(珠海)电催化方向招收2027年硕士研究生化学或材料方向
+1/34
海南大学化学院,招聘2026科研助理,博士,博士后
+1/34
北京理工大学长三角研究院(嘉兴)先进材料与智能装备团队 招聘
+1/31
美国圣路易斯大学招聘生物信息学博士后
+1/29
沈阳农业大学招聘微生物酶工程方向博士!!!!!!!!!!!!!
+1/28
北京师范大学(珠海)电催化方向招收2027年硕士研究生化学或材料方向
+1/28
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后(2名)
+1/5
诚聘智慧农业方向博士教师
+1/5
暨南大学开明峰教授团队博士后招聘启事
+1/4
浙江大学-化工学院刘平伟课题组-二维材料/功能聚合物开发-博后招聘
+1/3
国家纳米中心招聘项目聘用研究助理
+1/3
Urgent!知名外资仪器厂家急招Application Scientist(2名,售前,SH)
+1/3
科研测试平台求助
+1/2
上市公司招聘固废裂解处理博士与人工智能博士,可接受应届,需入站
+1/2
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后(2名)
+1/1
《穿越持科研神辅,杀懵外星万舰》第二章 战书如刀诛心魄
+1/1
乳腺癌发病机制、核心信号通路及治疗靶点研究进展
+1/1
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
418783132: 金币+10, 不错 很详细!希望以后多到无机非交流~ 2012-05-06 00:25:53
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
418783132: 金币+10, 不错 很详细!希望以后多到无机非交流~ 2012-05-06 00:25:53
|
我做的是硅钛薄膜, 设备名称: 高真空多靶磁控溅射镀膜机 设备型号: JCP-350 主要技术指标 真空腔室 φ350 mm×H400mm; 真空系统 复合分子泵+直联旋片泵,气动真空阀门,“两低一高”数显复合真空计; 真空极限 优于8.0×10-5Pa; 抽速 从大气抽至6.0×10-3Pa≤15min; 可镀膜尺寸 2英寸1片,散片若干; 基片加热与旋转 衬底加热:室温~500℃,自动测温,PID控温;基片旋转:0-20转/分钟,可调可控; 溅射靶规格 2英寸,标配2只、1对蒸发电极,另预留1只靶位(中频溅射+射频溅射) 膜厚不均匀性 ≤±5%; 控制方式 手动按钮控制; 报警及保护 对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施; 占地面积 长×宽: 1600×1400mm; |
3楼2012-05-05 22:50:12
4楼2012-05-05 22:51:30
2楼2012-05-05 08:59:10
8楼2012-05-08 15:13:53
9楼2012-05-08 15:50:29
10楼2012-08-27 09:52:27
11楼2013-04-17 12:28:18
12楼2013-04-17 12:29:01
13楼2013-05-21 22:18:27
14楼2013-06-21 16:46:56
15楼2014-01-10 10:40:33
16楼2014-11-02 17:19:52
17楼2014-11-02 23:03:58
简单回复
2012-05-08 13:28
回复
祝福!
2012-05-08 14:14
回复
2012-05-08 14:17
回复











回复此楼
