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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大 已有1人参与

虫友们好，小弟最近在研究磁控溅射ZnO薄膜，得到的ZnO薄膜用万用表粗测的值达到1万欧，一般不都是几十到几百欧吗，甚是不解，想请问各位什么原因？谢谢

这是实验参数：射频100W，玻璃衬底200度，气压0.5pa，Ar35sccm，30min
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黑暗中的光
1楼 2013-12-04 22:20:25
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

floljf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 2013-12-06 06:58:40
你用的是什么靶？ZnO靶？还是有其他掺杂的？
没有掺杂的ZnO薄膜电阻比较高，几十Kohm正常啊；如果是类似AZO的掺杂薄膜，800nm的话，电阻在几十ohm，20～50左右吧，对应的电阻率在0.05～0.1mohm*c m

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2013-12-05 17:03:43
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普通回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
★
穿越千年: 金币+1, 鼓励新虫积极交流 2013-12-05 13:16:41
玻璃没有镀上zno
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2楼2013-12-05 10:59:22
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maya5428

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2 2013-12-05 14:36:20
应该有膜 而且 100W 处理30分的话 薄膜厚度 大约800纳米左右

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2013-12-05 13:29:18
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-05 10:59:22
玻璃没有镀上zno

有膜的，明显看出玻璃表面颜色变深，测了XRD也显示有ZnO的峰
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黑暗中的光
4楼2013-12-05 14:06:30
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
孤傲的王子: 金币+2, 看了下，氧空位存在时有助于提升导电性。你说通通H2会不会好点？ 2013-12-05 14:37:52
双靶反应磁控共溅射制备AL 掺杂ZNO 薄膜及其光电性能
http://www.doc88.com/p-315622005479.html
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5楼2013-12-05 14:32:39
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没有80nm那么厚，你测的什么，白光仪还是椭偏仪。
想降低电阻的话把，ZnO把用Zn代替试试，氧分压一般和电阻成正比的。
厚度也有影响。
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喵了个咪的~
6楼2013-12-05 14:48:25
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by swxby at 2013-12-05 14:48:25
没有80nm那么厚，你测的什么，白光仪还是椭偏仪。
想降低电阻的话把，ZnO把用Zn代替试试，氧分压一般和电阻成正比的。
厚度也有影响。

我主要想知道，为什么会这么大？几十电阻较大，也不至于这么大吧
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黑暗中的光
7楼2013-12-05 15:08:41
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swxby

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 孤傲的王子 at 2013-12-05 15:08:41
我主要想知道，为什么会这么大？几十电阻较大，也不至于这么大吧...

在小电压，未击穿情况下，几兆欧到G欧是正常的阻值范围。
没有掺杂，怎么会有那么低的电阻。
电子根据不同导电机理（PF，SCLC，隧穿，电子热发射等），在薄膜中在晶界或者缺陷等中传输，ZnO怎么说也属于绝缘体。
你说的几十k是一种未击穿后的。
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喵了个咪的~
8楼2013-12-05 15:35:20
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swxby

木虫 (著名写手)
微击穿，或软击穿，打错了。
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喵了个咪的~
9楼2013-12-05 15:36:17
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