应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
71/1返回列表
查看: 2569  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

heartopen

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？ 已有6人参与

小弟是在读硕士，用直流磁控溅射方法制备氮化铝薄膜，由于是新买来的仪器，搞不清镀膜的工艺条件，比如N2流量，以及N2和Ar的比例，还有镀膜气压？？？靶电压？？？  小弟摸不准，最近做了一些实验，镀膜一个小时，居然几乎没有薄膜生长，很薄的一层，做XRD测试，观察不到衍射峰，不知道如何控制工艺条件才能生长比较快？？望各位指点，小弟跪求！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-03-02 17:15:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
为什么用氮气呀？？
我镀过钛，只用氩气，流量15sccm，压强要小，适当可以加不到100的偏压，慢慢试，先时间长点，我们这里有的材料要镀3小时，没事，多预溅一会
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-03 21:52:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

heartopen

新虫 (小有名气)
多谢兄才，我现在不搞氮化铝了，做氮化锌薄膜
赞一下 回复此楼
3楼2011-03-24 10:48:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

道远58

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不同的设备应该参数不一样吧 功率120w左右，氩氮比7:3  温度650℃ 时间90分钟 我们都是用这个做的
赞一下 回复此楼
4楼2012-08-02 15:58:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

迫不得已

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室设备也是直流磁控溅射，靶材是钛，靶电压应该是500v左右，镀膜气压不应过低，尤其是刚开始的，气压在0.5帕左右，等辉光放电成功后，不断调节氮气和氩气的流量，使之保持在0.5帕左右！如果还不行的话，那就是靶材和基片相距太远啦！
赞一下 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
5楼2014-03-13 21:52:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

NeilDenton

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by 380677864 at 2011-03-03 21:52:33
为什么用氮气呀？？
我镀过钛，只用氩气，流量15sccm，压强要小，适当可以加不到100的偏压，慢慢试，先时间长点，我们这里有的材料要镀3小时，没事，多预溅一会

只用氩气怎么做氮化铝？。。。。
赞一下 回复此楼
6楼2015-04-20 15:49:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
引用回帖:
4楼: Originally posted by 道远58 at 2012-08-02 15:58:21
不同的设备应该参数不一样吧 功率120w左右，氩氮比7:3  温度650℃ 时间90分钟 我们都是用这个做的

兄弟
回复此楼
7楼2015-08-21 11:45:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 heartopen 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:05 by FChKX8meu1ds
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭