| 查看: 2153 | 回复: 6 | |||
[交流]
【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？ 已有6人参与
|
| 小弟是在读硕士，用直流磁控溅射方法制备氮化铝薄膜，由于是新买来的仪器，搞不清镀膜的工艺条件，比如N2流量，以及N2和Ar的比例，还有镀膜气压？？？靶电压？？？ 小弟摸不准，最近做了一些实验，镀膜一个小时，居然几乎没有薄膜生长，很薄的一层，做XRD测试，观察不到衍射峰，不知道如何控制工艺条件才能生长比较快？？望各位指点，小弟跪求！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有161人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 马弗炉里面怎么通氮气？很纠结啊。。。。
已经有22人回复
- 将透明薄膜做成白色膜。。。。请教各位
已经有29人回复
- ATRP聚合中的大分子引发剂制备需不需要通氮气
已经有7人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 请问如何用灯丝法在铜片上生长金刚石薄膜（不是自支撑），谢谢！
已经有14人回复
- 求助一下大家，有没有测量口感的仪器啊，比如食品的甜度，咸度等
已经有21人回复
- 磁滞回线分析（薄膜样品）
已经有8人回复
- 急求薄膜蒸发器的图例！
已经有9人回复
- 请教FT-IR测试硅薄膜数据中基线处理的问题
已经有6人回复
- 金刚石薄膜 氢终止
已经有12人回复
- 表征旋涂薄膜的内部孔隙率
已经有9人回复
- ZnO和GaN薄膜哪个做得好些？
已经有5人回复
- 一氧化碳、氧气和氮气能装到一个钢瓶里面吗？
已经有9人回复
- 新人求助！！！食品检测相关问题（比如牛奶）
已经有6人回复
- PZT薄膜的退火问题
已经有7人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
380677864
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2121.9
- 散金: 479
- 帖子: 423
- 在线: 178.4小时
- 虫号: 1093260
- 注册: 2010-09-08
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
2楼2011-03-03 21:52:33
3楼2011-03-24 10:48:58
4楼2012-08-02 15:58:21
5楼2014-03-13 21:52:55
6楼2015-04-20 15:49:10
7楼2015-08-21 11:45:03
40
