24小时热门版块排行榜    

查看: 2156  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

heartopen

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件,比如氮气流量、比例,镀膜气压??靶电压? 已有6人参与

小弟是在读硕士,用直流磁控溅射方法制备氮化铝薄膜,由于是新买来的仪器,搞不清镀膜的工艺条件,比如N2流量,以及N2和Ar的比例,还有镀膜气压???靶电压???  小弟摸不准,最近做了一些实验,镀膜一个小时,居然几乎没有薄膜生长,很薄的一层,做XRD测试,观察不到衍射峰,不知道如何控制工艺条件才能生长比较快??望各位指点,小弟跪求!!!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

道远58

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不同的设备应该参数不一样吧 功率120w左右,氩氮比7:3  温度650℃ 时间90分钟 我们都是用这个做的
4楼2012-08-02 15:58:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

380677864

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
为什么用氮气呀??
我镀过钛,只用氩气,流量15sccm,压强要小,适当可以加不到100的偏压,慢慢试,先时间长点,我们这里有的材料要镀3小时,没事,多预溅一会
2楼2011-03-03 21:52:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

heartopen

新虫 (小有名气)

多谢兄才,我现在不搞氮化铝了,做氮化锌薄膜
3楼2011-03-24 10:48:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

迫不得已

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们实验室设备也是直流磁控溅射,靶材是钛,靶电压应该是500v左右,镀膜气压不应过低,尤其是刚开始的,气压在0.5帕左右,等辉光放电成功后,不断调节氮气和氩气的流量,使之保持在0.5帕左右!如果还不行的话,那就是靶材和基片相距太远啦!
我就是我,颜色不一样的烟火
5楼2014-03-13 21:52:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 机械专硕299求调剂至材料 +3 kkcoco25 2026-03-16 4/200 2026-03-21 03:52 by JourneyLucky
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +4 生物工程调剂 2026-03-17 8/400 2026-03-21 02:12 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 330求调剂 +4 小材化本科 2026-03-18 4/200 2026-03-20 23:13 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ^O^乜 2026-03-19 7/350 2026-03-20 21:43 by JourneyLucky
[考研] 316求调剂 +5 梁茜雯 2026-03-19 5/250 2026-03-20 21:26 by 你好你好666
[考研] 一志愿西南交通 专硕 材料355 本科双非 求调剂 +5 西南交通专材355 2026-03-19 5/250 2026-03-20 21:10 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +7 困于星晨 2026-03-17 9/450 2026-03-20 17:38 by 无懈可击111
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 3/150 2026-03-20 11:58 by 呱呱呱呱叫
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 0854,计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
信息提示
请填处理意见