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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)

[求助] 关于溅射镀膜的温度 已有1人参与

各位,想请问下真空溅射镀膜,被镀的件在镀膜过程中承受多大的温度啊?我打算用的镀膜仪是日本EIKO公司的IB-3型,我看网上把它叫做离子镀膜仪。目标是给极化了的压电陶瓷镀金,居里温度为350°,不知道会不会退极化。要是低于1/2居里温度肯定是没问题的,就是不知道实际多少温度。大家有用过的吗?
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 18:37:32
个人经验如果不是特意加温镀膜的话,一般真空溅射镀膜时的温度不会高于100度吧。
2楼2012-05-09 16:51:04
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

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感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 18:37:25
我们上限是300度 我做过200木有问题 太高没试过 对仪器不好
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
3楼2012-05-09 17:21:40
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jkcls

木虫 (小有名气)

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感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 2012-05-10 15:46:36
溅射镀膜时,主要考虑被镀件表面的温度,这和溅射时的功率有关,功率大了,溅射的速度也快,但被镀件表面温度也高,特别是有些材料不能承受高温时这个要考虑一下。
对压电陶瓷来说,一般的溅射条件,陶瓷表面温度为100度左右,是没有问题的。
4楼2012-05-10 08:11:53
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dedaji

铁杆木虫 (著名写手)

穷尽一生做完一场梦

【答案】应助回帖


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qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 2012-05-11 09:06:44
PVD 真空镀膜   温度70-90的样子,还要看什么膜
……………………沧海胡杨………………
5楼2012-05-10 10:54:35
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)

谢谢上面几位的经验共享。跟实验室的老师说下低点功率,看样子是没问题。
6楼2012-05-10 15:34:40
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taocc2007

新虫 (小有名气)

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我也不懂,不过我也是学镀膜的。来学习下
7楼2012-07-23 08:21:09
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confirage

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

本人做过压电陶瓷的金属镀膜。按照经验来看,计划了的压电陶瓷进行磁控溅射镀膜,肯定会存在退极化。磁控溅射后需要重新极化。
溅射过程中要看功率,要看是否固定溅射,功率在300w上,基本存在退极化的可能。然后不知道样片是如何加持的,不同方式,最终结果也有不同。
标准流水生产线下的非标准产品
8楼2013-12-30 21:46:15
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9楼2019-11-28 14:15:14
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