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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 关于溅射镀膜的温度
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Clarence_Lan

金虫 (小有名气)

[求助] 关于溅射镀膜的温度 已有1人参与

各位，想请问下真空溅射镀膜，被镀的件在镀膜过程中承受多大的温度啊？我打算用的镀膜仪是日本EIKO公司的IB-3型，我看网上把它叫做离子镀膜仪。目标是给极化了的压电陶瓷镀金，居里温度为350°，不知道会不会退极化。要是低于1/2居里温度肯定是没问题的，就是不知道实际多少温度。大家有用过的吗？
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1楼 2012-05-09 16:03:40
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jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 2012-05-10 15:46:36
溅射镀膜时，主要考虑被镀件表面的温度，这和溅射时的功率有关，功率大了，溅射的速度也快，但被镀件表面温度也高，特别是有些材料不能承受高温时这个要考虑一下。
对压电陶瓷来说，一般的溅射条件，陶瓷表面温度为100度左右，是没有问题的。
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4楼2012-05-10 08:11:53
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 18:37:32
个人经验如果不是特意加温镀膜的话，一般真空溅射镀膜时的温度不会高于100度吧。
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2楼2012-05-09 16:51:04
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 18:37:25
我们上限是300度 我做过200木有问题 太高没试过 对仪器不好
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
3楼2012-05-09 17:21:40
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dedaji

铁杆木虫 (著名写手)

穷尽一生做完一场梦

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励积极回贴交流 2012-05-11 09:06:44
PVD 真空镀膜   温度70-90的样子，还要看什么膜
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……………………沧海胡杨………………
5楼2012-05-10 10:54:35
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