应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
211/3返回列表123下一页
查看: 4186  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

sailor529

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-01-29 13:26:14
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yinzhiminghao

铁杆木虫 (职业作家)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
帮你顶一下
回复此楼
人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。
2楼2010-01-29 18:51:47
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
我觉得距离越小，镀膜厚度应该越大，但是可能太近了影响镀膜的质量。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2010-01-29 21:19:16
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

元小雪

木虫 (职业作家)
★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
可以去看看田民波的那本厚的《薄膜材料》
赞一下(1人) 回复此楼
无聊的博士
4楼2010-01-29 21:54:17
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+2): 2010-02-02 18:15
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

太近了 薄膜的粗糙度很大 薄膜质量下降
另外 可能造成自溅射情况
赞一下(2人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-01-29 21:59:00
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

physics鱼

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+1): 2010-02-02 18:15
应该服从空间高斯分布，不是越近越好，那样颗粒度太大，容易引进缺陷，在一个适当的距离上，才能既保证产率，又保证质量
赞一下(2人) 回复此楼
琴瑟友之
6楼2010-01-29 22:15:06
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cjw796

金虫 (小有名气)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:49
sailor529(金币+3): 2010-02-02 18:14
靶材和衬底的间距会影响到溅射原子的动能，对薄膜的形貌，织构，晶粒大校等都会产生影响，关于学习资料，推荐看看英文原版书籍，关于薄膜沉积的书很多的，可以自己到网上搜搜，或者去图书馆找。
引用回帖:
Originally posted by sailor529 at 2010-01-29 13:26:14:
请教：靶材与衬底的距离对镀膜有什么影响，如何表现，又是如何影响的呢？或推荐些可以学习的资料，谢谢

赞一下(2人) 回复此楼
7楼2010-01-29 22:34:28
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
sailor529(金币+2): 2010-02-02 18:15
tongling921(金币+1):3x 2010-02-02 23:19
溅射方面的书很多，唐伟忠老师的《薄膜材料的制备、分析及应用》中的第三张介绍的很详细，田民波的老师《薄膜材料与薄膜技术》也不错的，可以去看看。
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2010-01-30 08:49:22
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

深海一尾鱼

金虫 (小有名气)

将军
★ ★
sailor529(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-01 00:50
sailor529(金币+5): 2010-02-02 18:14
针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差。
赞一下(2人) 回复此楼
潇洒走一生
9楼2010-01-30 18:16:25
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

深海一尾鱼

金虫 (小有名气)

将军
溅射镀膜技术由于溅射原子能量高薄膜附着力大成膜致密性好等优点"被广泛用于各种材料薄膜的制备辉光放电靶材溅射溅射原子输运及薄膜生长等过程是溅射镀膜中关键的物理过程"它们相互影响"共同决定薄膜的性能靶材溅射及溅射原子输运到衬底时的能量入射角及入射位置直接影响着薄膜的生长过程"对薄膜的均匀性$致密性及附着力等性能有着重要影响
赞一下(1人) 回复此楼
潇洒走一生
10楼2010-01-30 18:19:04
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 sailor529 的主题更新
211/3返回列表123下一页
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂 +8 调剂的考研学生 2026-03-09 8/400 2026-03-15 22:14 by Winj1e
[考研] 311求调剂 +5 冬十三 2026-03-15 5/250 2026-03-15 18:38 by 无际的草原
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化，一志愿：哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-10 11/550 2026-03-14 12:18 by 邱gl
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 332分材料工程调剂 +3 莓好时光海苔 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:03 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +9 小木虫085600 2026-03-09 12/600 2026-03-14 01:11 by JourneyLucky
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] b区环境工程求调剂 +4 Maps1 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:23 by JourneyLucky
[考研] 0703，333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] ［0860］321分求调剂，ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +4 薛云鹏 2026-03-13 4/200 2026-03-13 10:40 by 学员8dgXkO
[考研] 08食品或轻工求调剂，本科发表3篇sci一区top论文，一志愿南师大食品科学与工程 +3 我是一个兵， 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:21 by Yuyi.
[考研] 283求调剂，材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
[考研] 纺织、生物、化学、材料相关专业招生了 +4 耶耶业 2026-03-09 7/350 2026-03-12 19:05 by Equinoxhua
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考博] 读博申请 +5 感dd 2026-03-10 7/350 2026-03-11 17:02 by QGZDSYS
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭