| 查看: 4326 | 回复: 14 | ||||||
[交流]
磁控溅射靶材bondig 已有10人参与
|
||||||
|
磁控溅射靶材的绑定一般用铟（In）胶将靶材与Cu板粘住。 如果溅射过程中基板要求加热的话，比如600摄氏度，In胶还能用吗？熔点才156.61℃。是不是要改用银浆bonding呢？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | 资源 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
材料模拟计算
已经有0人回复
-
请问那家有能成型厚度1.0~2.0mm，长宽>200mm的方块注塑模具
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有182人回复
-
上海大学生物有机电子材料及器件团队博士研究生招聘
已经有17人回复
-
0856材料306分调剂
已经有3人回复
-
26申博-目前4篇SCI一作
已经有4人回复
-
材料模拟计算
已经有0人回复
-
304分材料专硕求调剂
已经有14人回复
-
求助武汉大学孟令芝老师的《有机波谱分析（第五版）》课件资源
已经有0人回复
-
德国伊尔梅瑙工业大学（TU Ilmenau）柔性电子方向 诚邀CSC申请
已经有0人回复
-
材料专硕334分求调剂
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
已经有9人回复
- 国内哪家做磁控溅射靶材做的最好？？
已经有37人回复
- 磁控溅射靶材制备方法
已经有10人回复
- 磁控溅射镀膜机样品架制作
已经有4人回复
- 磁控反应溅射Mg/Zn靶材辉光不稳定问题。
已经有7人回复
- 关于磁控溅射用的靶材方面的书籍
已经有22人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 磁控溅射 铟靶
已经有8人回复
- 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗
已经有9人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么
已经有6人回复
- 磁控溅射靶材融化
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
6楼2012-05-17 09:19:24
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146140
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.3小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
| 一般的，铜背靶制作费用很贵，不止使用一次，而要求反复使用多次。用铟的好处就是一旦bonding的靶材用废后，稍微加热就可实现靶材和铜背靶的分离；缺点就是对于平面靶，使用时要将其和铜背靶钎焊在一起使用（面焊合良好率大于96%）。铟熔点低，若冷却不好，溅射中离子撞击靶材引起靶材的温升超过铟的熔点就会融化铟，使得靶材和铜背靶分离造成大事故。现在一般通过在背靶中通一定压力的冷却水进行有效的冷却的方法来保证bonding面的温度不超过铟的熔点。用银胶的话，一旦靶材用废后，怎么分离背靶和靶材呢？当然对于旋转靶，现在有不少厂家使用机械式bongding，即使用径向弹簧，靠弹簧的弹性力和由此产生的摩擦力实现靶材和不锈钢圆管背靶之间的bonding。 |
9楼2013-08-06 08:58:27
2楼2011-09-13 15:39:09
3楼2011-09-13 15:39:45
wydmhy
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 161 (高中生)
- 金币: 10888.8
- 散金: 235
- 红花: 41
- 帖子: 4039
- 在线: 715.6小时
- 虫号: 903420
- 注册: 2009-11-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2011-10-07 12:13:33
5楼2012-05-16 07:51:28
finetx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 130.1
- 散金: 30
- 帖子: 111
- 在线: 48.8小时
- 虫号: 1325316
- 注册: 2011-06-17
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
7楼2012-05-17 09:28:28
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
8楼2012-09-21 15:22:20
judge
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 74 (初中生)
- 贵宾: 0.111
- 金币: 51759.6
- 散金: 62
- 红花: 15
- 沙发: 4
- 帖子: 18466
- 在线: 789.1小时
- 虫号: 372105
- 注册: 2007-05-15
- 专业: 金属功能材料
10楼2013-08-06 11:15:26
