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惊蛰8277

银虫 (小有名气)

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专业: 材料

[交流] 磁控溅射靶材bondig已有10人参与

磁控溅射靶材的绑定一般用铟（In）胶将靶材与Cu板粘住。

如果溅射过程中基板要求加热的话，比如600摄氏度，In胶还能用吗？熔点才156.61℃。是不是要改用银浆bonding呢？

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磁控溅射靶材资料大全

PVD镀膜类技术资料

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1楼2011-09-13 11:47:12

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judge

至尊木虫 (文坛精英)

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专业: 金属功能材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

看见过某日本客户有机械的方法固定。

10楼2013-08-06 11:15:26

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